IMEC 非营利协会B·库纳特获国家专利权
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龙图腾网获悉IMEC 非营利协会申请的专利纳米脊工程技术获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112447500B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010909267.8,技术领域涉及:H10P14/20;该发明授权纳米脊工程技术是由B·库纳特;R·兰格;Y·莫里斯;M·巴士尼科娃设计研发完成,并于2020-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本纳米脊工程技术在说明书摘要公布了:一种用于在腔室内的硅基材310上生长至少一个IIIV纳米脊200的方法100。所述方法包括:使硅基材310上的区域图案化110,由此在硅基材上形成沟槽320;通过如下过程来生长IIIV纳米脊200:引发沟槽320中IIIV纳米脊200的生长,由此在沟槽内形成并填充纳米脊的层200,以及从填充层210顶部上继续生长124出沟槽320,从而形成纳米脊200的顶部部分220,其中,当纳米脊生长到沟槽外时,在腔室中添加至少一种表面活性剂。
本发明授权纳米脊工程技术在权利要求书中公布了:1.一种用于在外延生长腔室内的硅基材310上生长至少一个IIIV纳米脊200的方法100,所述方法包括: -使硅基材310上的区域图案化110,由此在硅基材上形成沟槽320; -通过如下过程来生长120IIIV纳米脊200: -引发沟槽320中IIIV纳米脊200的生长122,从而在沟槽内形成纳米脊的填充层210, -从填充层210顶部上继续生长124到沟槽320以外,从而形成纳米脊200的顶部部分220,其中,当纳米脊生长到沟槽以外时,在腔室中添加至少一种表面活性剂,所述表面活性剂改变晶体表面上的性质以及因此改变生长特性,表面活性剂的量和纳米脊的暴露时间使得纳米脊生长特性改变、但表面活性剂不会大量掺入纳米脊中。
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