山东华光光电子股份有限公司刘飞获国家专利权
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龙图腾网获悉山东华光光电子股份有限公司申请的专利一种AlGaInP基横模半导体激光器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115706387B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110915408.1,技术领域涉及:H01S5/065;该发明授权一种AlGaInP基横模半导体激光器及其制备方法是由刘飞;张新;邓桃设计研发完成,并于2021-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种AlGaInP基横模半导体激光器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种AlGaInP基横模半导体激光器及其制备方法。所述激光器由下至上依次包括:GaAs衬底、GaAs缓冲层、Ga0.5In0.5P下过渡层、Al0.5In0.5P下限制层、Al1‑x1Gax1y1In1‑y1P渐变下波导层、Ga1‑x2Inx2P第一量子阱、Al1‑x3Gax3y2In1‑y2P垒层、Ga1‑x4Inx4P第二量子阱、Al1‑x5Gax5y3In1‑y3P渐变上波导层、Al0.5In0.5P第一上限制层、Al0.5In0.5P第二上限制层、Ga0.5In0.5P上过渡层和GaAs帽层。本发明提供的AlGaInP基横模半导体激光器增大了Al0.5In0.5P第一上限制层的厚度,降低了Al0.5In0.5P第一上限制层的掺杂浓度,在实现减小横向折射率的差值,稳定基横模,提高kink功率的同时,避免了因增大Al0.5In0.5P第一上限制层厚度后电流扩散对电参数的影响。
本发明授权一种AlGaInP基横模半导体激光器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种AlGaInP基横模半导体激光器,其特征在于,由下至上依次包括:GaAs衬底、GaAs缓冲层、Ga0.5In0.5P下过渡层、Al0.5In0.5P下限制层、Al1-x1Gax1y1In1-y1P渐变下波导层、Ga1-x2Inx2P第一量子阱、Al1-x3Gax3y2In1-y2P垒层、Ga1-x4Inx4P第二量子阱、Al1-x5Gax5y3In1-y3P渐变上波导层、Al0.5In0.5P第一上限制层、Al0.5In0.5P第二上限制层、Ga0.5In0.5P上过渡层和GaAs帽层; 其中,所述Ga1-x2Inx2P第一量子阱的厚度为4-7nm,非故意掺杂,0.3≤x2≤0.5; 所述Al1-x3Gax3y2In1-y2P垒层的厚度为5-15nm,非故意掺杂,0.3≤x3≤0.6,0.4≤y2≤0.6; 所述Ga1-x4Inx4P第二量子阱的厚度为4-7nm,非故意掺杂,0.3≤x4≤0.5; 所述Al1-x5Gax5y3In1-y3P渐变上波导层的厚度为0.05-0.15μm,非故意掺杂,x5由0.05渐变至0.6,0.4≤y3≤0.6; 所述Al0.5In0.5P第一上限制层为P型Al0.5In0.5P第一上限制层,掺杂了镁原子或锌原子,掺杂源为Cp2Mg或DEZn,厚度为0.2-0.5μm,掺杂浓度为2×1017-4×1017个原子cm3。
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