日本株式会社日立高新技术科学繁野雅次获国家专利权
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龙图腾网获悉日本株式会社日立高新技术科学申请的专利扫描型探针显微镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115727806B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211464524.7，技术领域涉及：G01B21/30；该发明授权扫描型探针显微镜是由繁野雅次;渡边和俊;山本浩令设计研发完成，并于2018-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描型探针显微镜在说明书摘要公布了：本发明提供扫描型探针显微镜，其使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；激振部，其在所述分开动作中使所述试样和所述悬臂以规定的频率相对振动；判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的所述规定的频率的振幅的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
本发明授权扫描型探针显微镜在权利要求书中公布了：1.一种扫描型探针显微镜，其使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有： 悬臂，在其前端具有所述探针； 驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作； 激振部，其在所述分开动作中使所述试样和所述悬臂以规定的频率相对振动； 判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的所述规定的频率下的振幅的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离，所述挠曲方向上的振幅为挠曲量，所述扭曲方向上的振幅为扭曲量；以及 驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
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