中国船舶集团有限公司第七〇九研究所薄涛获国家专利权
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龙图腾网获悉中国船舶集团有限公司第七〇九研究所申请的专利一种晶圆测试系统的校准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115728697B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211481543.0，技术领域涉及：G01R35/00；该发明授权一种晶圆测试系统的校准方法是由薄涛;张骋设计研发完成，并于2022-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆测试系统的校准方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆测试系统的校准方法，该校准方法包括电参数校准和位移参数校准，其中，电参数校准方法为：向晶圆测试系统中的测试机发送标准源控制信号，并采集测试机发出的传递至探针卡的第一电信号、及探针卡探测并回传至测试机的第二电信号；将第一和第二电信号对应与预先设定的电信号进行比对，从而实现对晶圆测试系统测试机电参数的完整性校准；位移参数校准方法为：向探针台发送位移信号，同时获取利用激光干涉仪测量到的探针台的位移信息，将该位移信息与预先设置的位移值进行比对，从而实现对晶圆测试系统位移的校准。本发明可同时实现对晶圆测试系统的电参数和非电参数进行校准，有效提高晶圆测试系统的测试准确性和可靠性。
本发明授权一种晶圆测试系统的校准方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆测试系统的校准方法，应用于晶圆测试系统校准装置，其特征在于，所述晶圆测试系统包括测试机、探针台、承片台和探针卡，所述校准方法包括电参数校准和位移参数校准，其中， 所述电参数校准的校准方法为：向晶圆测试系统中的测试机发送标准源控制信号，并采集所述测试机发出的经由转接器件后传递至探针卡的第一电信号、及所述探针卡探测并回传至测试机的第二电信号；将第一电信号与所述测试机所设置的电信号进行比对，同时将第二电信号与预先设定的电信号进行比对，从而实现对晶圆测试系统测试机电参数的完整性校准； 所述位移参数校准的校准方法为：以预设时间间隔向探针台发送X轴和Y轴位移信号，同时获取利用激光干涉仪测量到的探针台的位移信息；然后将不同信号下获取到的位移信息对应与预先设置的位移值进行比对，从而实现对晶圆测试系统X轴和Y轴位移的校准；其中，所述激光干涉仪中的反射镜安装在探针台上。
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