隆基绿能科技股份有限公司蔡永安获国家专利权
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龙图腾网获悉隆基绿能科技股份有限公司申请的专利一种新型掩膜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115793381B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210997784.4，技术领域涉及：G03F1/38；该发明授权一种新型掩膜是由蔡永安设计研发完成，并于2022-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型掩膜在说明书摘要公布了：本发明提供了一种新型掩膜，包括：基层及功能层；基层与功能层叠层设置；功能层的材料包括温度上升后具有粘度的材料；基层靠近功能层的一侧为离型面；基层在紫外光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收系数≥20％，其中，紫外光光源的波长为355±15nm；或，基层在绿光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收系数≥20％，其中，绿光光源的波长为530±15nm；或，基层在红外光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收系数≥20％，其中，红外光光源的波长为1045±20nm；基层的可见光透过率≤90％。本发明提供的新型掩膜利用光学特性，通过低功耗的光源形成图案化内容，而且功能层的材料的成本低廉，也不需要匹配复杂的工艺实现图案化处理，实现降本增效。
本发明授权一种新型掩膜在权利要求书中公布了：1.一种薄膜掩膜，其特征在于，所述薄膜掩膜用于太阳能电池的沉积工艺，所述薄膜掩膜包括：基层及功能层；所述基层与功能层叠层设置；所述基层包括高分子层，所述高分子层材料为高分子聚合物，包括：聚对苯二甲酸乙二酯、聚烯烃薄膜、聚酰亚胺、聚氯乙烯的一种或多种；所述基层包括添加剂，以调整所述基层的吸收特性；所述功能层的材料包括温度上升后具有粘度的材料； 所述基层靠近所述功能层的一侧为通过等离子处理、涂氟处理或涂硅离型剂形成的离型面； 所述基层在紫外光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收系数≥20%，其中，所述紫外光光源的波长为355±15nm；或，所述基层在绿光光源照射下、且厚度在200um以下的吸收系数≥20%，其中，所述绿光光源的波长为530±15nm； 所述基层的可见光透过率≤90%。
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