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龙图腾网获悉安徽量伙半导体有限公司申请的专利一种RTP退火炉用渗漏监测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224095346U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520655150.X，技术领域涉及：G01M3/26；该实用新型一种RTP退火炉用渗漏监测系统是由吴云鹏;汪知昱;王玉冰;余云龙设计研发完成，并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种RTP退火炉用渗漏监测系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种RTP退火炉用渗漏监测系统，涉及退火炉渗漏监测技术领域，通过安装在退火炉内的传感器模块采集退火炉内的压力值和气体浓度转换为电信号，并发送至数据读取模块，通过数据读取模块通过轮询的方式，轮流接收传感器模块发送的电信号，并发送至数据处理模块进行滤波处理，数据判断模块通过对接收到滤波后的电信号与安全电信号阈值进行比较，判断退火炉是否发生渗漏，并发送预警指令至预警模块，灵敏度调节模块通过调节安全电信号阈值的大小，进行预警灵敏度调节，预警模块根据数据判断模块发送的预警指令，对退火炉是否发生渗漏进行报警。

本实用新型一种RTP退火炉用渗漏监测系统在权利要求书中公布了：1.一种RTP退火炉用渗漏监测系统，其特征在于，包括： 传感器模块10，所述传感器模块10安装在退火炉内，与数据读取模块20电性连接，用于采集退火炉内的压力值和气体浓度值，并转换为电信号发送至数据读取模块20； 数据读取模块20，所述数据读取模块20与数据处理模块30电性连接，用于轮流接收传感器模块10发送的电信号，并发送至数据处理模块30； 数据处理模块30，所述数据处理模块30与数据判断模块40电性连接，用于接收数据读取模块20发送的电信号进行滤波处理，并发送至数据判断模块40； 数据判断模块40，所述数据判断模块40与预警模块电性连接，用于把接收的电信号与安全电信号阈值进行比较，判断退火炉是否发生渗漏，并发送预警指令至预警模块60； 灵敏度调节模块50，所述灵敏度调节模块50与数据判断模块40电性连接，用于通过调节安全电信号阈值的大小，进行预警灵敏度调节； 预警模块60，所述预警模块60根据数据判断模块40发送的预警指令，对退火炉是否发生渗漏进行报警。

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