日月新半导体(昆山)有限公司崔军获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(昆山)有限公司申请的专利一种晶圆检测治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224095725U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520109145.9,技术领域涉及:G01N21/95;该实用新型一种晶圆检测治具是由崔军设计研发完成,并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆检测治具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆检测设备技术领域,公开了一种晶圆检测治具,包括支撑底板和灯棒,支撑底板顶部连接设有定位组件,支撑底板顶部通过螺栓固定连接有支撑架,支撑架一端连接设有调节组件;定位组件包括支撑杆,支撑杆转动连接在支撑底板顶部,支撑杆顶部固定连接有转盘,转盘内开设有弧形槽。本实用新型与现有技术相比的优点在于:在晶圆检测治具中,使用定位组件便于将不同大小的晶圆进行摆正到中心位置,以便后续的检测;使用调节组件便于调节对晶圆的光照位置,更清楚检测不同位置的缺陷。
本实用新型一种晶圆检测治具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆检测治具,包括支撑底板1和灯棒22,其特征在于:所述支撑底板1顶部连接设有定位组件,所述支撑底板1顶部通过螺栓固定连接有支撑架15,所述支撑架15一端连接设有调节组件; 所述定位组件包括支撑杆2,所述支撑杆2转动连接在支撑底板1顶部,所述支撑杆2顶部固定连接有转盘3,所述转盘3内开设有弧形槽4,所述支撑底板1顶部固定连接有支撑柱23,所述支撑柱23顶部固定连接有固定套5,所述固定套5内开设有滑槽6,所述滑槽6内滑动连接有滑板7,所述滑板7一端固定连接有滑杆8,所述滑板7另一端固定连接有夹持板9,所述滑杆8在弧形槽4内滑动,所述支撑杆2外部连接设有驱动组件。
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