绍兴芯链半导体科技有限公司罗亦昊获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴芯链半导体科技有限公司申请的专利基板退膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224096120U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521132549.6,技术领域涉及:G03F1/82;该实用新型基板退膜装置是由罗亦昊;潘星佑;李佳珍设计研发完成,并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板退膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于退膜领域,具体涉及一种基板退膜装置,包括退膜容器,所述退膜容器内部用于容纳退膜液;承托部件,所述承托部件用于放置基板;以及移动机构,所述移动机构与所述承托部件相连,所述移动机构包括升降结构,所述升降结构可带动所述承托部件升降运动,使得基板浸入退出退膜液。本实用新型提供一种基板退膜装置,其目的在于解决现有技术中人工退膜的不足。
本实用新型基板退膜装置在权利要求书中公布了:1.一种基板退膜装置,其特征在于:包括 退膜容器,所述退膜容器内部用于容纳退膜液; 承托部件,所述承托部件用于放置基板;以及 移动机构,所述移动机构与所述承托部件相连,所述移动机构包括升降结构,所述升降结构可带动所述承托部件升降运动,使得基板浸入退出退膜液。
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