合肥市国微光电科技有限公司周明获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合肥市国微光电科技有限公司申请的专利一种光刻机晶圆台快速调平机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224096126U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521140951.9，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机晶圆台快速调平机构是由周明;鲁忠月设计研发完成，并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机晶圆台快速调平机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，尤其是一种光刻机晶圆台快速调平机构，包括放置台；以及，支撑组件，包括有安装座；以及，调平组件，包括有驱动杆和安装在驱动杆顶部的伸缩杆；其中，伸缩杆可沿着驱动杆的径向进行伸缩，支撑组件还包括尺寸略大于安装座的底座，底座固定连接在安装座的底部，底座的外壁通过安装螺栓与外部设备连接，调平组件还包括多个固定连接在安装座顶壁的安装块，它可以通过多轴协同运动的调平组件，实时、动态地调整放置台的姿态，从而确保其上的晶圆实现高精度的同步调平，与此同时，通过支撑组件同步工作，有效吸收运动产生的反作用力并抑制振动，为整个调平过程和装置运行提供坚实、可靠的稳定性保障。
本实用新型一种光刻机晶圆台快速调平机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机晶圆台快速调平机构，其特征在于：包括放置台1；以及， 支撑组件2，包括有安装座23；以及， 调平组件3，包括有驱动杆34和安装在所述驱动杆34顶部的伸缩杆35； 其中，所述伸缩杆35可沿着所述驱动杆34的径向进行伸缩。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥市国微光电科技有限公司，其通讯地址为：230031 安徽省合肥市高新区城西桥社区服务中心中安创谷科技园二期F8栋2楼201-11；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励