江苏鲁汶仪器股份有限公司桑康获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224096685U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423314254.9，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型刻蚀设备是由桑康;胡冬冬;许跃跃;胡少谦;杨宇新;陈龙保;刘利国;许开东设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种刻蚀设备，在工艺腔室的腔壁的第一安装孔中插装晶圆位置检测装置，能够利用晶圆位置检测装置检测载片台上的晶圆位置，从而可以根据检测结果及时校正晶圆的位置，以减小或者消除晶圆的偏转，以此保障刻蚀设备的低耗稳定运行。并且，还配置有移动装置，移动装置能够驱动晶圆位置检测装置向工艺腔室内移动和向工艺腔室外移动，检测晶圆位置时，可以使晶圆位置检测装置至少部分移动到工艺腔室内，这样晶圆位置检测装置更靠近晶圆，从而能够更准确地检测晶圆的位置，进行刻蚀工艺前，可以使晶圆位置检测装置移动到工艺腔室外，以避免或降低刻蚀过程对晶圆位置检测装置的不良影响。
本实用新型刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备包括工艺腔室100、载片台200、晶圆位置检测装置300和移动装置400，所述工艺腔室100的腔壁上开设有第一安装孔X，所述晶圆位置检测装置300可移动地插装于所述第一安装孔X，所述晶圆位置检测装置300能够检测所述工艺腔室100内的所述载片台200上的晶圆位置，所述移动装置400与所述晶圆位置检测装置300传动连接，所述移动装置400能够驱动所述晶圆位置检测装置300向所述工艺腔室100内移动和向所述工艺腔室100外移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏鲁汶仪器股份有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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