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龙图腾网获悉昆山芯物联电子通讯有限公司申请的专利一种适用于晶圆传送载具的断电持续充气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098087U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423238050.1，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种适用于晶圆传送载具的断电持续充气装置是由王道帅;廖鸿文设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种适用于晶圆传送载具的断电持续充气装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种适用于晶圆传送载具的断电持续充气装置，包括柜体，第一调压阀的进气端与N2罐的出气端相连通，第一调压阀的出气端与MFC的进气端相连，MFC的出气端与进气接头相连，第一调压阀的出气端与第一真空阀的进气端相连，第一真空阀出气端与第一调速阀的进气端相连，真空发生器的V端与第一流量计的出气端相连，第一流量计的进气端与出气阀的出气端相连，出气阀进气端与出气接头相连，调压阀的出气端与第二真空阀的进气端相连，第二真空阀的出气端与第二调速阀的进气端相连，第二调速阀的出气端与第二流量计的进气端相连，第二流量计的出气端与进气接头相连。本实用新型能提高稳定的充气。

本实用新型一种适用于晶圆传送载具的断电持续充气装置在权利要求书中公布了：1.一种适用于晶圆传送载具的断电持续充气装置，包括柜体，所述柜体上连接有进气接头和出气接头，其特征在于：所述柜体内连接有第一调压阀1、第一真空阀2、第一调速阀3、真空发生器4、第一流量计5、出气阀6、第二真空阀7、第二调速阀8、第二流量计9和MFC10，所述第一调压阀1的进气端与N2罐的出气端相连通，所述第一调压阀1的出气端与MFC10的进气端相连，所述MFC10的出气端与进气接头相连，所述第一调压阀1的出气端与第一真空阀2的进气端相连，所述第一真空阀2的出气端与第一调速阀3的进气端相连，所述第一调速阀3的出气端与真空发生器4的P端相连，所述真空发生器4的E端连接至外端，所述真空发生器4的V端与第一流量计5的出气端相连，所述第一流量计5的进气端与出气阀6的出气端相连，所述出气阀6进气端与出气接头相连，所述第一调压阀1的出气端与第二真空阀7的进气端相连，所述第二真空阀7的出气端与第二调速阀8的进气端相连，所述第二调速阀8的出气端与第二流量计9的进气端相连，所述第二流量计9的出气端与进气接头相连。

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