渠梁电子有限公司庄汉强获国家专利权
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龙图腾网获悉渠梁电子有限公司申请的专利一种用于承载多种晶圆的烤箱腔体结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098091U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520645371.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种用于承载多种晶圆的烤箱腔体结构是由庄汉强设计研发完成，并于2025-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于承载多种晶圆的烤箱腔体结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于承载多种晶圆的烤箱腔体结构，包括腔室主体，所述腔室主体具有沿轴线方向延伸的内侧壁；形成在所述内侧壁上的承载台，所述承载台至少包括沿轴线方向间隔排布的多个隔槽；至少两个所述隔槽的内壁沿垂直于轴线方向错开。本实用新型所述的用于承载多种晶圆的烤箱腔体结构，能够承载不同类型的晶圆，提高烤箱的通用性，减少在烘烤前进行承载形式统一的时间，提高生产流程的整体效率。
本实用新型一种用于承载多种晶圆的烤箱腔体结构在权利要求书中公布了：1.一种用于承载多种晶圆的烤箱腔体结构，其特征在于，包括 腔室主体，所述腔室主体具有沿轴线方向延伸的内侧壁； 形成在所述内侧壁上的承载台，所述承载台至少包括沿轴线方向间隔排布的多个隔槽； 至少两个所述隔槽的内壁沿垂直于轴线方向错开。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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