开辉半导体设备(东莞)有限公司贺开慧获国家专利权
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龙图腾网获悉开辉半导体设备(东莞)有限公司申请的专利晶圆检测烘干机构及晶圆检测机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098105U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520840347.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆检测烘干机构及晶圆检测机是由贺开慧;陈伟;陈自豪;吕杰融;罗锦区;孙展伟设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检测烘干机构及晶圆检测机在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆检测烘干机构，包括：直线模组；检测模组，由所述直线模组驱动设置，所述检测模组包括两个在所述直线模组移动方向上排列设置且均能够承载晶圆进行检测的检测工位，其中一所述检测工位能够承载晶圆进行位置校正；烘干模组，能够与所述检测模组沿同一方向滑动设置于所述机台，在所述烘干模组上设置有一个烘干工位以承载晶圆进行打点及烘干；所述烘干模组上与所述检测模组之间配置有能够使二者连接于一体或相互分离的连接结构。本申请提供的晶圆检测烘干机构，能够避免晶圆烘干时高温辐射所带来一系列影响。也能提高晶圆检测效率。本申请还提出一种晶圆检测机。
本实用新型晶圆检测烘干机构及晶圆检测机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测烘干机构，用于装配于晶圆检测机的机台上，以承载晶圆进行检测、打点及烘干，其特征在于，包括： 直线模组； 检测模组，由所述直线模组驱动设置，所述检测模组包括两个在所述直线模组移动方向上排列设置且均能够承载晶圆进行检测的检测工位，其中一所述检测工位能够承载晶圆进行位置校正； 烘干模组，能够与所述检测模组沿同一方向滑动设置于所述机台，在所述烘干模组上设置有一个烘干工位以承载晶圆进行打点及烘干； 所述烘干模组上与所述检测模组之间配置有能够使二者连接于一体或相互分离的连接结构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人开辉半导体设备(东莞)有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市松山湖园区工业南路4号2栋108室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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