中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所刘宏伟获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利衬底承载组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224098127U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520342355.2，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型衬底承载组件是由刘宏伟;张亚宾;袁敏;郭天泓设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底承载组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种衬底承载组件，包括基座、托盘和连接杆，所述托盘设置于所述基座的顶部，其包括用于支撑衬底的放置槽；所述连接杆设于所述基座的底部，所述连接杆通过刚性联轴器连接至真空线性导入器。本实用新型的衬底承载组件使用刚性联轴器替代原先的弹片柔性联轴器连接至真空线性导入器，不易形变，避免了在升降过程中晃动或倾斜的问题。同时取消了原先随同升降用于保证稳定性的滑杆机构，使得整体结构更为精简，避免了滑杆机构导致的升降行程限制，且无需考虑在真空环境下无法使用润滑剂，导致滑杆划伤、卡涩甚至卡住，影响整体稳定性的情况。
本实用新型衬底承载组件在权利要求书中公布了：1.一种衬底承载组件，其特征在于，包括： 基座； 托盘，设置于所述基座的顶部，所述托盘包括用于支撑衬底的放置槽；以及 连接杆，设于所述基座的底部，所述连接杆通过刚性联轴器连接至真空线性导入器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，其通讯地址为：215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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