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瑞声声学科技(深圳)有限公司杨帅获国家专利权

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龙图腾网获悉瑞声声学科技(深圳)有限公司申请的专利一种薄膜体声波谐振器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115314016B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210853200.6,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权一种薄膜体声波谐振器是由杨帅;吴珂;王超;张丽蓉;庄智强设计研发完成,并于2022-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种薄膜体声波谐振器在说明书摘要公布了:本发明提供了一种薄膜体声波谐振器,包括衬底、设置于衬底一侧的声学反射结构、叠设在声学反射结构一侧的底电极、覆盖底电极的压电薄膜以及叠设在压电薄膜的远离底电极侧的顶电极,顶电极远离压电薄膜的一侧设置有叉指型凸起框架,叉指型凸起框架包括相对设置的第一凸起框架和第二凸起框架,自第一凸起框架和第二凸起框架分别相向延伸且间隔预设距离并交叠形成的至少一对叉指结构,每一叉指结构包括沿交叠方向间隔预设距离的两个叉指。本发明能够对两种或两种以上横向瑞利‑兰姆波进行反射以实现高的反射效率,改善谐振器的反谐振频率对应的Q值。能够改善现有凸起框架闭环带来的剥离残留问题。

本发明授权一种薄膜体声波谐振器在权利要求书中公布了:1.一种薄膜体声波谐振器,该谐振器包括衬底、设置于所述衬底一侧的声学反射结构、叠设在所述声学反射结构一侧的底电极、覆盖所述底电极的压电薄膜以及叠设在所述压电薄膜的远离所述底电极侧的顶电极,其特征在于,所述顶电极的远离所述压电薄膜的一侧设置有叉指型凸起框架,所述叉指型凸起框架包括相对间隔设置的第一凸起框架和第二凸起框架,以及自所述第一凸起框架和所述第二凸起框架分别相向延伸且彼此交叠形成的至少一对叉指结构,每一所述叉指结构包括沿交叠方向间隔预设距离的两个叉指; 所述叉指结构包括连接于所述第一凸起框架靠近所述第二凸起框架一侧且间隔设置的第一延伸凸起和第二延伸凸起,连接于所述第二凸起框架靠近所述第一凸起框架一侧且间隔设置的第三延伸凸起和第四延伸凸起,其中所述第一延伸凸起与所述第三延伸凸起之间间隔预设距离并交叠形成叉指结构;所述第二延伸凸起与所述第四延伸凸起之间间隔设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人瑞声声学科技(深圳)有限公司,其通讯地址为:518057 广东省深圳市南山区科技园区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座6楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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