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龙图腾网获悉北京华林嘉业科技有限公司申请的专利一种边缘腐蚀机及边缘腐蚀工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121531943B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610037221.9，技术领域涉及：H10P50/64；该发明授权一种边缘腐蚀机及边缘腐蚀工艺是由耿彪;张伟;张凯;王强设计研发完成，并于2026-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种边缘腐蚀机及边缘腐蚀工艺在说明书摘要公布了：本发明提供了一种边缘腐蚀机及边缘腐蚀工艺，涉及半导体制造技术领域。该边缘腐蚀机包括机体和装设于机体上的若干个腐蚀装置、若干个冲洗装置以及转运装置；转运装置包括工装、机械轴以及晶圆驱动机构；工装包括容置框和夹板，容置框内用于沿第一中心线顺次叠放多片晶圆，容置框内每相邻的两片晶圆之间夹有一个夹板，每个夹板与其两侧相邻的晶圆的非腐蚀区域的周缘或整体紧密贴合；机械轴连接在晶圆驱动机构和工装之间；晶圆驱动机构用于驱使容置框进出各个腐蚀装置和进出各个冲洗装置，以及用于驱使容置框内的所有晶圆围绕第一中心线旋转。该边缘腐蚀机具有自动化程度高、工作效率高、功能全面、可精准控制腐蚀区域以及腐蚀均匀等优势。

本发明授权一种边缘腐蚀机及边缘腐蚀工艺在权利要求书中公布了：1.一种边缘腐蚀机，其特征在于，包括机体1和装设于所述机体1上的若干个用于对晶圆100的边缘进行腐蚀的腐蚀装置2、若干个用于对晶圆100进行清洗的冲洗装置3以及转运装置4； 所述转运装置4包括工装41、机械轴42以及晶圆驱动机构，其中： 所述工装41包括容置框411、夹板412以及两个压板413，所述容置框411内用于沿第一中心线顺次叠放多片晶圆100，所述容置框411内每相邻的两片晶圆100之间夹有一个所述夹板412，每个所述夹板412与其两侧相邻的晶圆100的非腐蚀区域的周缘或整体紧密贴合，两个所述压板413用于夹紧所述容置框411内的所有晶圆100和所有所述夹板412； 所述机械轴42的安装端与所述晶圆驱动机构传动连接，所述机械轴42的自由端上装设有所述工装41； 所述晶圆驱动机构用于驱使所述容置框411进出各个所述腐蚀装置2和进出各个所述冲洗装置3，以及用于驱使所述容置框411内的所有晶圆100和所有所述夹板412同步围绕所述第一中心线旋转； 若干个所述腐蚀装置2和若干个所述冲洗装置3一一对应设置，相对应的一个所述腐蚀装置2和一个所述冲洗装置3沿第二水平方向依次排布； 所述晶圆驱动机构包括： 直线驱动模组43，用于驱使所述机械轴42沿第一水平方向平移，所述第一水平方向与所述第二水平方向正交； 第一旋转驱动模组44，用于驱使所述机械轴42围绕自身轴线旋转，以使所述工装41的位置在相对应的一个所述腐蚀装置2和一个所述冲洗装置3的上方之间切换； 升降驱动模组45，用于驱使所述机械轴42升降； 第二旋转驱动模组46，用于驱使所述容置框411围绕所述第一中心线在所述机械轴42上旋转，并用于驱使两个所述压板413围绕所述第一中心线在所述机械轴42上旋转。

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