北京芯东来半导体科技有限公司王继磊获国家专利权
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龙图腾网获悉北京芯东来半导体科技有限公司申请的专利光刻机物镜相差检测温控装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121559821B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610085512.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机物镜相差检测温控装置是由王继磊;王野;杨尚勇;王印勋;姚孟鸣设计研发完成，并于2026-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机物镜相差检测温控装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光刻机物镜相差检测温控装置，应用于感光芯片，包括工件台和冷却通道，工件台上设有安装槽，感光芯片固定于安装槽的槽壁；冷却通道设于安装槽内且位于感光芯片背离光线的一侧。冷却通道的至少部分呈螺旋状，冷却通道的进口连通于工件台的驱动部的冷却液源。解决了现有技术中存在的感光芯片易发生热变形进而影响检测结果精度的问题。
本发明授权光刻机物镜相差检测温控装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻机物镜相差检测温控装置，应用于感光芯片，其特征在于，包括工件台和冷却通道，所述工件台上设有安装槽，所述感光芯片固定于所述安装槽的槽壁；所述冷却通道设于所述安装槽内且位于感光芯片背离光线的一侧； 所述冷却通道的至少部分呈螺旋状，所述冷却通道的进口连通于所述工件台的驱动部的冷却液源； 沿所述感光芯片的厚度方向，所述冷却通道的一个端部延伸至所述感光芯片的第一侧壁，所述冷却通道的另一个端部延伸至所述感光芯片的第二侧壁，所述第二侧壁与所述第一侧壁相背； 还包括导热板，所述导热板设于感光芯片靠近所述冷却通道的一侧； 所述导热板朝向所述冷却通道的一侧表面设有多个毛细肋柱，所述多个毛细肋柱沿所述冷却通道的盘旋方向阵列设置。
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