泓浒(苏州)半导体科技有限公司章健获国家专利权
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龙图腾网获悉泓浒(苏州)半导体科技有限公司申请的专利一种清洗及吹干装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224101341U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520723190.3，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种清洗及吹干装置是由章健;卢伟;吴国明;林坚设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗及吹干装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种清洗及吹干装置。包括底部组件和顶部组件；所述底部组件包括基座、载具、旋转机构和清洗机构；其中，载具用于搭载待清洗的物料；旋转机构包括驱动器，所述驱动器的执行端与载具同轴并直接固定，用于驱动载具围绕一竖直轴线自转；清洗机构对应载具设置，包括喷头和驱动喷头移动的清洗驱动器；所述顶部组件包括干燥机构而后围挡；其中，干燥机构包括通过顶部安装座悬置于载具顶部的风扇；围挡在顶升机构的带动下升降，为物料在载具上的取放提供通道，或于清洗作业时将清洗机构与载具所处空间封闭。本申请设置有围挡，围挡在顶升机构的驱动下于清洗时形成密闭空间，有效防止液体飞溅；并于作业后自动升起便于取放晶圆。
本实用新型一种清洗及吹干装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗及吹干装置，其特征在于，包括底部组件和顶部组件； 所述底部组件包括： 基座1； 载具2，用于搭载待清洗的物料； 旋转机构4，包括驱动器，所述驱动器的执行端与载具2同轴并直接固定，用于驱动载具2围绕一竖直轴线自转；以及 清洗机构3，对应载具2设置，包括喷头和驱动喷头移动的清洗驱动器32； 所述顶部组件包括： 干燥机构5，包括通过顶部安装座51悬置于载具2顶部的风扇52；以及 围挡7，在顶升机构6的带动下升降，为物料在载具2上的取放提供通道，或于清洗作业时将清洗机构3与载具2所处空间封闭。
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