上海积塔半导体有限公司王铁润获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利辅助晶圆传送盒震荡的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224101417U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520711650.0，技术领域涉及：B08B9/08；该实用新型辅助晶圆传送盒震荡的装置是由王铁润设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本辅助晶圆传送盒震荡的装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种辅助晶圆传送盒震荡的装置，包括：外框架；内嵌盒，内嵌盒可转动地连接于外框架的内部，内嵌盒用于容纳晶圆传送盒并与晶圆传送盒固定连接；伸缩气缸，伸缩气缸位于外框架的内部并位于内嵌盒的下侧；伸缩气缸具有伸缩杆，伸缩杆与内嵌盒的下表面抵接；内嵌盒具有基于伸缩杆的伸缩运动而相对于外框架震荡的震荡轨迹。本公开能够提高晶圆传送盒清洗后液体颗粒计数器法中内嵌盒震荡频率的精确性，消除震荡操作者人为操作的误差，提升颗粒分析测试的标准化与可重复性，增加晶圆传送盒清洗的洁净度，避免晶圆受到晶圆传送盒的污染导致的缺陷，提高晶圆的良率。
本实用新型辅助晶圆传送盒震荡的装置在权利要求书中公布了：1.一种辅助晶圆传送盒震荡的装置，其特征在于，包括： 外框架； 内嵌盒，所述内嵌盒可转动地连接于所述外框架的内部，所述内嵌盒用于容纳晶圆传送盒并与所述晶圆传送盒固定连接； 伸缩气缸，所述伸缩气缸位于所述外框架的内部并位于所述内嵌盒的下侧；所述伸缩气缸具有伸缩杆，所述伸缩杆与所述内嵌盒的下表面抵接；所述内嵌盒具有基于所述伸缩杆的伸缩运动而相对于所述外框架震荡的震荡轨迹。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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