亚芯半导体材料(江苏)有限公司陈光获国家专利权
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龙图腾网获悉亚芯半导体材料(江苏)有限公司申请的专利一种具有实时采样结构的靶材生产反应装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224105919U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520250763.5，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种具有实时采样结构的靶材生产反应装置是由陈光;陈凌鹏;程其兵设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有实时采样结构的靶材生产反应装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种具有实时采样结构的靶材生产反应装置，包括：台面、活动座以及采样头，所述台面下端设有一组支撑框架，所述台面上端右后侧设有一组用于对导向轨进行支撑的支撑架，所述支撑架上端设有一组用于对活动座进行导向的导向轨，所述导向轨呈水平结构设置，且上端设有一组L型结构的活动座，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过使用电缸来控制伸缩端以及采样头的高度来对载台二上端的晶圆材料进行采样工作，同时其直线电机能够带动活动座沿导向轨上端进行移动，从而通过活动座来带动采样头进行移动，使采样头将晶圆样本移动至电学检测台上端，并对晶圆样本进行检测。
本实用新型一种具有实时采样结构的靶材生产反应装置在权利要求书中公布了：1.一种具有实时采样结构的靶材生产反应装置，包括：台面100、活动座130以及采样头240，其特征在于：所述台面100下端设有一组支撑框架，所述台面100上端右后侧设有一组用于对导向轨120进行支撑的支撑架110； 所述支撑架110上端设有一组用于对活动座130进行导向的导向轨120，所述导向轨120呈水平结构设置，且上端设有一组L型结构的活动座130，所述活动座130右侧设有一组用于对其方向控制的直线电机150； 所述活动座130与直线电机150驱动端连接，所述活动座130前侧设有一组用于对伸缩端160以及采样头240位置进行调节的电缸140，所述电缸140下端设有一组用于带动采样头240对晶圆材料上下移动采样的伸缩端160，所述伸缩端160下端设有一组采样头240，所述采样头240下端设有一组用于对晶圆材料进行采样的采样槽。
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