安合鑫光电科技(苏州)有限公司袁小夫获国家专利权
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龙图腾网获悉安合鑫光电科技(苏州)有限公司申请的专利一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224105921U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520943137.4,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机是由袁小夫;包瑞设计研发完成,并于2025-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机,包括外箱体与溅射机构,且外箱体的前方设置有防护门,外箱体的内部设置有双面镀膜机构,双面镀膜机构包括旋转组件与翻转组件;中间轴与外箱体内壁的左侧与右侧转动连接,中间轴位于外箱体表面的两侧均固定连接有圆盘,外箱体的右侧固定连接有驱动电机,驱动电机的输出端与中间轴的一端固定连接,翻转组件包括开设两个圆盘相对一侧的多个第一滑槽,本实用新型涉及真空溅射机技术领域。该便于调节镀膜厚度的真空溅射机在对材料进行溅射镀膜时,通过旋转组件与翻转组件的配合使得材料能够在转动的同时进行自转,从而完成双面溅射镀膜,提高了装置使用时的实用性。
本实用新型一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机在权利要求书中公布了:1.一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机,包括外箱体1与溅射机构2,且外箱体1的前方设置有防护门3,其特征在于:所述外箱体1的内部设置有双面镀膜机构,所述双面镀膜机构包括旋转组件4与翻转组件5; 所述旋转组件4包括中间轴41,所述中间轴41与外箱体1内壁的左侧与右侧转动连接,所述中间轴41位于外箱体1表面的两侧均固定连接有圆盘42,所述外箱体1的右侧固定连接有驱动电机43,所述驱动电机43的输出端与中间轴41的一端固定连接,所述翻转组件5包括开设两个圆盘42相对一侧的多个第一滑槽51,多个所述第一滑槽51的内表面均滑动连接有滑块52,所述滑块52的内表面转动连接有轴承53,同一直线上两个所述轴承53之间滑动连接有滑杆54,所述滑杆54上设置有夹持组件7用于对材料进行夹持,且夹持组件7上设置有用于对镀膜厚度进行检测用的检测组件8。
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