苏州迈为科技股份有限公司杜长龙获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迈为科技股份有限公司申请的专利一种镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224105922U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202322917057.5，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种镀膜装置是由杜长龙;解传佳;武瑞军;莫超超;常新新;高通设计研发完成，并于2023-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种镀膜装置，该镀膜装置包括镀膜箱体、支撑件、载板和换热组件，镀膜箱体限定出镀膜腔室，支撑件设在镀膜腔室相对设置的两个侧壁上，载板的相对设置的两侧分别止抵于两个支撑件，载板用于支撑衬底，换热组件设在镀膜腔室内部，换热组件设在载板的至少一侧且与载板间隔设置，换热组件用于与衬底进行辐射换热。该镀膜装置能够快速地降低衬底的温度，缩短衬底降低到室温的时长，有利于提升镀膜良率。
本实用新型一种镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种镀膜装置，其特征在于，包括： 镀膜箱体100，所述镀膜箱体100限定出镀膜腔室110； 支撑件200，所述支撑件200设在所述镀膜腔室110相对设置的两个侧壁上； 载板300，所述载板300的相对设置的两侧分别止抵于两个所述支撑件200，所述载板300用于支撑衬底500； 换热组件400，所述换热组件400设在所述镀膜腔室110内部，所述换热组件400设在所述载板300的至少一侧且与所述载板300间隔设置，所述换热组件400用于与所述衬底500进行辐射换热。
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