合肥致真精密设备有限公司程厚义获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合肥致真精密设备有限公司申请的专利一种超高真空样品处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224105923U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520724529.1，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种超高真空样品处理装置是由程厚义;李炎;杜寅昌;李玉婷设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超高真空样品处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种超高真空样品处理装置，具体涉及磁控溅射设备技术领域，包括固定法兰，固定法兰的底部连接有升降模块，升降模块的下方安装有中空旋转磁力耦合器，中空旋转磁力耦合器的输出轴固定连接有传动转轴，传动转轴的顶端固定连接有样品托架模组，中空旋转磁力耦合器固定安装有芯轴，芯轴的顶端固定安装有加热模组；样品托架模组包括：样品托板；芯轴的顶部设置有导电体，导电体与样品托板之间设有导电机构。本实用新型采用中空旋转磁力耦合器驱动样品转动，利用导电机构，在样品高速旋转过程中提供稳定的偏压清洗功能，保证偏压清洗稳定；解决样品处理装置在兼容加热、偏压清洗、旋转功能的稳定性，优化了偏压清洗结构。
本实用新型一种超高真空样品处理装置在权利要求书中公布了：1.一种超高真空样品处理装置，其特征在于：包括中空旋转磁力耦合器3，所述中空旋转磁力耦合器3的输出轴固定连接有传动转轴4，所述传动转轴4的顶端固定连接有样品托架模组5，所述中空旋转磁力耦合器3的内部固定安装有与传动转轴4同心设置的芯轴6， 所述样品托架模组5包括：样品托板51； 所述芯轴6的底端通过密封固定件8固定安装有偏压清洗真空导入馈通9，所述芯轴6的顶部设置有与偏压清洗真空导入馈通9电连接的导电体10，所述导电体10与样品托板51之间设有导电机构11。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥致真精密设备有限公司，其通讯地址为：231200 安徽省合肥市新站区站北社区铜陵北路与西淝河路交叉口芯视界·科创大厦A栋9；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励