晶通(高邮)集成电路有限公司吴旭辉获国家专利权
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龙图腾网获悉晶通(高邮)集成电路有限公司申请的专利一种PVD镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224105925U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520894743.1，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种PVD镀膜设备是由吴旭辉设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PVD镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PVD镀膜设备，包括主箱体和装配于主箱体内部分别呈上下分布的镀膜板和靶材座，所述主箱体的正面活动安装有闭合板，所述闭合板的正面固定安装有观察窗，所述主箱体的背部固定安装有延伸至内部的抽真空管，本实用新型涉及PVD镀膜技术领域。该PVD镀膜设备，通过第一电磁线圈和多组第二电磁线圈的配合，可以根据靶材刻蚀深度实时调整磁场强度和方向，使等离子体均匀覆盖靶材表面，使靶材利用率提升，延长靶材使用寿命，节省生产成本，通过电磁槽、进液管和出液管的配合，可以对圆形靶材在作业时的顶部进行水液降温，从而提升设备对圆形靶材使用时的稳定性，延长圆形靶材的使用寿命。
本实用新型一种PVD镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种PVD镀膜设备，其特征在于：包括主箱体和装配于主箱体内部分别呈上下分布的镀膜板和靶材座； 所述主箱体的正面活动安装有闭合板，所述闭合板的正面固定安装有观察窗，所述主箱体的背部固定安装有延伸至内部的抽真空管，所述主箱体正面上方的中央位置处固定安装有气压表； 所述镀膜板的顶部等距离固定安装有橡胶凸点，所述橡胶凸点之间固定安装有真空吸盘，所述镀膜板的底部固定安装与真空吸盘连接的真空吸管； 所述靶材座的底部开设有电磁槽，所述电磁槽的中央位置处固定安装有第一电磁线圈，所述电磁槽的外侧等距离固定安装有第二电磁线圈，所述靶材座底部的外侧开设有限位槽，所述限位槽的底部固定安装有两组密封圈，所述靶材座的外侧等距离固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端皆转动安装有收紧板，所述靶材座顶部的前侧固定安装有进液管，所述靶材座顶部的后侧固定安装有出液管。
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