润马光能科技(金华)有限公司;金华市国有资本运营有限公司张海阳获国家专利权
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龙图腾网获悉润马光能科技(金华)有限公司;金华市国有资本运营有限公司申请的专利一种防火灾安全高效的LPCVD炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224105932U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520596572.4,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型一种防火灾安全高效的LPCVD炉是由张海阳;魏浩;邢飞;史修江;芮亚豪;罗月月;朱心翔;杜正元设计研发完成,并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防火灾安全高效的LPCVD炉在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种防火灾安全高效的LPCVD炉,涉及光伏电池技术领域。其中,LPCVD炉包括炉体,炉体形成有炉腔且具有相对设置的炉口和炉尾,炉口设置向炉腔进气的进气装置;补气组件,补气组件设置在炉腔内,与炉体的轴向方向平行,自炉尾向炉口延伸设置,补气组件包括第一进气管和第二进气管;第一进气管的长度大于第二进气管。本实用新型提供的LPCVD炉,可以有效减少炉口和炉尾的气流差异,从而减少膜厚的差异,有效提高了非晶硅层的膜厚的均匀性。此外,本实用新型采用碳化硅材质的进气管,可有效避免金属材质在高温下破损变形,引发火灾的风险,提升了本质安全水平。
本实用新型一种防火灾安全高效的LPCVD炉在权利要求书中公布了:1.一种防火灾安全高效的LPCVD炉,其特征在于,包括: 炉体,所述炉体形成有炉腔且具有相对设置的炉口和炉尾,所述炉口设置向所述炉腔进气的进气装置; 补气组件,所述补气组件设置在所述炉腔内,与所述炉体的轴向方向平行,自所述炉尾向所述炉口延伸设置,所述补气组件包括第一进气管和第二进气管;所述第一进气管的长度大于所述第二进气管。
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