无锡先为科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡先为科技有限公司申请的专利一种成膜装置及CVD反应器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224105933U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520767313.3，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种成膜装置及CVD反应器是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种成膜装置及CVD反应器在说明书摘要公布了：本申请公开一种成膜装置及CVD反应器，属于半导体成膜技术领域。本申请实施例的成膜装置包括壳体、基座及排气组件，壳体具有沿上下方向间隔设置的顶板与底板，底板上开设有排气口；基座设置于壳体内，且与顶板围成有反应腔；排气组件设置于壳体内，且环绕基座的外周，排气组件包括：排气环、导流管组、弹性件及屏蔽件，排气环与反应腔连通，导流管组设置于排气环背离顶板的一侧并设有排气通道，屏蔽件连接于导流管组的外壁上，弹性件分别连接屏蔽件与底板，以支撑导流管组与排气环连接，排气通道连通排气环与排气口。通过设置屏蔽件将导流管组与弹性件分隔，形成热屏障，有效阻隔热量向弹性件传递，确保支撑结构的稳定性与成膜环境的洁净度。
本实用新型一种成膜装置及CVD反应器在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其特征在于，包括： 壳体10，具有沿上下方向X间隔设置的顶板101与底板102，所述底板102上开设有排气口103； 基座20，设置于所述壳体10内，且与所述顶板101围成有反应腔200； 排气组件30，设置于所述壳体10内，且环绕设置于所述基座20的外周，所述排气组件30包括：排气环310、导流管组320、弹性件330及屏蔽件340，所述排气环310与所述反应腔200连通，所述导流管组320设置于所述排气环310背离所述顶板101的一侧并设有排气通道300，所述屏蔽件340连接于所述导流管组320的外壁上，所述弹性件330分别连接所述屏蔽件340与所述底板102，以支撑所述导流管组320与所述排气环310连接，所述排气通道300连通所述排气环310与所述排气口103。
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