江苏中科晶元信息材料有限公司许子俊获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏中科晶元信息材料有限公司申请的专利一种砷化镓晶体生产用多晶生长炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224105987U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520589798.1,技术领域涉及:C30B29/42;该实用新型一种砷化镓晶体生产用多晶生长炉是由许子俊;马曾增;袁许飞;李琪荣设计研发完成,并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种砷化镓晶体生产用多晶生长炉在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种砷化镓晶体生产用多晶生长炉,具体涉及多晶生长炉技术领域,包括多晶生长炉体以及设在多晶生长炉体顶端的炉盖,所述炉盖底端固定设有生产组件,所述生产组件包括用于生产砷化镓晶体的坩埚,所述坩埚外侧套设有保温筒,所述保温筒顶端与炉盖可拆卸连接,所述保温筒内部可拆卸连接有感应线圈,且感应线圈套在坩埚外侧。本实用新型通过保温筒和保温棉套可以有效降低热量散发,从而提高生产效率并节约能源,当坩埚意外破裂出现泄漏时,保温筒可充当收集容器,防止原料散落,并利用摄像头实时拍摄坩埚、保温筒内部,工作人员能及时发现砷化镓晶体生长中的异常情况,并及时采取措施进行调整,确保生产过程顺利进行。
本实用新型一种砷化镓晶体生产用多晶生长炉在权利要求书中公布了:1.一种砷化镓晶体生产用多晶生长炉,包括多晶生长炉体1以及设在多晶生长炉体1顶端的炉盖2,其特征在于:所述炉盖2底端固定设有生产组件3,所述生产组件3包括用于生产砷化镓晶体的坩埚31,所述坩埚31外侧套设有保温筒32,所述保温筒32顶端与炉盖2可拆卸连接; 所述保温筒32内部可拆卸连接有感应线圈33,且感应线圈33套在坩埚31外侧,所述保温筒32外壁固定套设有保温棉套34,所述保温筒32内部可拆卸连接有监控组件4,所述多晶生长炉体1外壁设有用于驱动炉盖2升降的升降组件5。
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