上海微电子装备(集团)股份有限公司周攀峰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利栅尺零位的搜寻方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117663964B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211021396.9，技术领域涉及：G01B7/00；该发明授权栅尺零位的搜寻方法是由周攀峰;冒鹏飞;史定龙设计研发完成，并于2022-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本栅尺零位的搜寻方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种栅尺零位的搜寻方法，包括：提供一测量系统，包括栅尺和永磁同步电机，栅尺包括尺带和读数头，永磁同步电机用于驱动读数头在尺带上移动，尺带上设置有多个索引条纹，读数头用于在触发每个索引条纹时输出对应的索引脉冲；标定测量系统，以获得相位角表，相位角表包含至少部分个索引条纹对应的索引脉冲和相位角；移动读数头，直至初次触发索引条纹后测得对应的相位角；从相位角表中找到测得的相位角对应的索引脉冲，以确定读数头初次触发的索引条纹的位置，进而确定测量系统的零位。本发明的技术方案使得搜零速度得到明显提高。
本发明授权栅尺零位的搜寻方法在权利要求书中公布了：1.一种栅尺零位的搜寻方法，其特征在于，包括： 提供一测量系统，所述测量系统包括栅尺和永磁同步电机，所述栅尺包括尺带和读数头，所述永磁同步电机用于驱动所述读数头在所述尺带上移动，所述尺带上设置有多个索引条纹，所述读数头用于在触发每个所述索引条纹时输出对应的索引脉冲； 采用所述永磁同步电机在第一当前位置寻找初始相位角，以使得所述永磁同步电机完成位置环的闭环； 标定所述测量系统，以获得相位角表，所述相位角表包含至少部分个所述索引条纹对应的所述索引脉冲和相位角； 采用所述永磁同步电机在第二当前位置寻找初始相位角，以使得所述永磁同步电机完成位置环的闭环； 移动所述读数头，直至初次触发所述索引条纹后测得对应的相位角； 从所述相位角表中找到测得的所述相位角对应的所述索引脉冲，以确定所述读数头初次触发的所述索引条纹的位置，进而确定所述测量系统的零位。
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