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龙图腾网获悉杭州帕兹电子有限公司申请的专利一种用于改善离子注入机金属污染的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118142997B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410221227.2，技术领域涉及：B08B9/28；该发明授权一种用于改善离子注入机金属污染的装置是由赵建江;魏宏雨;周涛;刘强;黄友林设计研发完成，并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于改善离子注入机金属污染的装置在说明书摘要公布了：本发明涉及离子注入机金属污染改善技术领域，公开了一种用于改善离子注入机金属污染的装置。本发明包括：机箱，所述机箱内设有围框，所述机箱内升降安装有盖板，所述盖板的底部安装有可翻转的源腔固定机构，所述盖板的底部安装有移动升降机构，所述移动升降机构上安装有水枪冲洗机构，所述水枪冲洗机构包括框架，所述框架上转动安装有高压喷头，所述框架上固定安装有第三电机，所述第三电机与高压喷头传动连接，所述高压喷头的一端转动连接有软管。本发明可以通过高压水枪定期对源腔的内部进行冲洗，以此去除附着在源腔内壁上的金属微粒，从而降低金属微粒对离子注入过程中的影响。

本发明授权一种用于改善离子注入机金属污染的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于改善离子注入机金属污染的装置，其特征在于，包括：机箱，所述机箱内设有围框，所述机箱内升降安装有盖板，所述盖板的底部安装有可翻转的源腔固定机构，所述盖板的底部安装有移动升降机构，所述移动升降机构上安装有水枪冲洗机构，所述水枪冲洗机构包括框架，所述框架上转动安装有高压喷头，所述框架上固定安装有第三电机，所述第三电机与高压喷头传动连接，所述高压喷头的一端转动连接有软管；所述源腔固定机构包括固定连接在盖板底部的两个竖板，两个竖板上转动安装有同一个放置架，所述放置架上固定安装有横条，所述横条上螺纹安装有抵紧螺丝，所述放置架上设有限定框，所述盖板的顶部固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴上固定安装有第一锥形齿轮，对应的竖板上转动安装有驱动杆，所述驱动杆的顶端和底端均固定安装有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮与对应的第二锥形齿轮啮合，所述放置架的轴杆上固定安装有第三锥形齿轮，所述第三锥形齿轮与对应的第二锥形齿轮啮合，所述移动升降机构包括固定安装在盖板顶部的第二电机，所述盖板的底部转动安装有螺杆，所述第二电机的输出轴上固定安装有第四锥形齿轮，所述螺杆的一端固定安装有第五锥形齿轮，所述第四锥形齿轮与第五锥形齿轮啮合，所述螺杆上螺纹套设有矩形筒，所述矩形筒内固定安装有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出杆与框架固定连接，所述盖板的底部固定安装有两个支撑块，所述螺杆贯穿两个支撑块并与两个支撑块转动连接，两个支撑块上固定安装有两个滑杆，两个滑杆均贯穿矩形筒并与矩形筒滑动连接。

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