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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种离子束刻蚀的均匀性调节装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118280798B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211727242.1，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种离子束刻蚀的均匀性调节装置及方法是由王想;刘小波;王智超;晁洁方;窦阳;胡冬冬;陈璐;许开东设计研发完成，并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子束刻蚀的均匀性调节装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种离子束刻蚀的均匀性调节装置及方法，通过均匀性调节电容组件和安装在放电腔预设位置上的均匀性调节线圈组件，实现对均匀性调节线圈组件中平面线圈和或筒形线圈上功率的调节，最终实现对所述放电腔内等离子体密度分布的调节，并且还可以对平面线圈和或筒形线圈在安装位置上的排布进一步优化例如使平面线圈和或筒形线圈呈非中心对称性排布或呈中心对称性排布，还可以进一步精确的对所述放电腔内等离子体密度分布进行再次优化调节，以达到放电腔内预期的等离子体密度分布，从而实现离子束蚀刻的均匀性调节。

本发明授权一种离子束刻蚀的均匀性调节装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种离子束刻蚀的均匀性调节装置，其特征在于，所述均匀性调节装置包括：射频电源、电源匹配网络、均匀性调节电容组件、均匀性调节线圈组件以及放电腔，所述均匀性调节线圈组件包括平面线圈和筒形线圈，所述筒形线圈的第一端与所述均匀性调节电容组件的第一输出端连接，所述平面线圈的第一端与所述均匀性调节电容组件的第二输出端连接；所述平面线圈位于所述放电腔的底部，所述筒形线圈缠绕至所述放电腔的外侧壁；所述平面线圈在所述放电腔的底部呈非中心对称性排布，且所述筒形线圈在所述放电腔的外侧壁呈非中心对称性排布；或，所述平面线圈在所述放电腔的底部呈非中心对称性排布，且所述筒形线圈在所述放电腔的外侧壁呈中心对称性排布；或，所述平面线圈在所述放电腔的底部呈中心对称性排布，且所述筒形线圈在所述放电腔的外侧壁呈非中心对称性排布； 所述射频电源用于产生第一工作电压，控制所述放电腔内产生等离子体； 所述电源匹配网络用于调节所述射频电源的输出； 所述均匀性调节电容组件用于通过调节自身电容值，分别调节所述平面线圈和或所述筒形线圈上的功率，以实现对所述放电腔内等离子体密度分布的调节。

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