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厦门大学袁丛辉获国家专利权

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龙图腾网获悉厦门大学申请的专利一种二维材料的去溶剂无损精准转移方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119650414B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411824168.4,技术领域涉及:H10P14/20;该发明授权一种二维材料的去溶剂无损精准转移方法是由袁丛辉;罗雨;戴李宗;罗德浩;陈国荣;罗伟昂设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种二维材料的去溶剂无损精准转移方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种二维材料的去溶剂无损精准转移方法,包括:将硅片用HMDS进行表面功能化;采用PMMA苯甲醚溶液对功能化的硅片进行旋涂并烘干形成PMMA支撑膜;采用热释放胶PDMS拾取PMMA支撑膜;将PDMSPMMA转移至需转移的二维材料第一衬底的表面,加热后PDMS与PMMA分离,PMMA覆盖在二维材料表面;通过蚀刻溶液的蚀刻,使PMMA二维材料脱离第一衬底;用PDMS将脱离第一衬底的PMMA二维材料捞起;将PMMA二维材料转移至第二衬底;采用丙酮清洗掉PMMA并用氮气吹干,即成。本发明能够实现洁净、高效、精准地转移二维材料,能够避免二维材料对有机溶剂的不耐受性及有机溶剂的污染。

本发明授权一种二维材料的去溶剂无损精准转移方法在权利要求书中公布了:1.一种二维材料的去溶剂无损精准转移方法,其特征在于:包括如下步骤: 1对硅片进行清洗; 2将经步骤1的清洗的硅片放入装有HMDS的密闭反应容器中进行热处理,获得HMDS功能化硅片; 3用PMMA苯甲醚溶液对步骤2所得的HMDS功能化硅片进行旋涂和烘干,在该HMDS功能化硅片上形成PMMA支撑膜; 4用热释放胶PDMS拾取上述PMMA支撑膜,并将该PMMA支撑膜转移至第一衬底上的二维材料的表面,进行热处理后撕掉热释放胶PDMS,得到PMMA二维材料第一衬底;二维材料包括过渡金属硫族化合物、六方氮化硼、氧化物、磷烯、硅烯、石墨烯和MXene,第一衬底为SiO2Si衬底、Al2O3Si衬底或蓝宝石衬底; 5通过蚀刻溶液的蚀刻,使步骤4所得的PMMA二维材料第一衬底中的PMMA二维材料脱离第一衬底; 6用PDMS将脱离第一衬底的PMMA二维材料转移到经清洗干净的第二衬底上,热处理后抬起PDMS得到PMMA二维材料第二衬底;第二衬底为硅片、ITO衬底、蓝宝石衬底、SiO2Si衬底、Al2O3Si衬底或含另一二维材料的上述衬底; 7将步骤6所得的PMMA二维材料第二衬底用丙酮浸泡以去除PMMA,取出后用氮气吹干,得到位于第二衬底上述的二维材料,完成位于第一衬底上的二维材料至第二衬底的去溶剂无损精准转移。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人厦门大学,其通讯地址为:361000 福建省厦门市思明南路422号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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