华海清科股份有限公司孙传恽获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利位置标定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119725152B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411779613.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权位置标定方法是由孙传恽;刘晟桤;李长坤设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本位置标定方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种位置标定方法，用于标定干燥设备，干燥设备还包括承载盘、喷杆和支撑臂，承载盘用于在干燥设备对晶圆进行干燥时承载晶圆，喷杆用于向晶圆喷射流体，喷杆设置在支撑臂上，支撑臂用于调整喷杆的位置；位置标定方法包括标定盘和喷嘴指向件；标定盘用于装配在喷杆与承载盘之间，且与承载盘平行，标定盘靠近喷杆的侧面设置有标识区域；喷嘴指向件可拆卸连接在喷杆上，喷嘴指向件具有位于喷杆的喷射路径上的尖端，通过调整支撑臂上喷杆的位置，使得喷杆带动喷嘴指向件的尖端对准标识区域，对喷杆的喷嘴进行位置标定。本方案降低了对喷杆进行位置标定的难度。
本发明授权位置标定方法在权利要求书中公布了：1.一种位置标定方法，其特征在于，用于标定干燥设备，所述干燥设备包括承载盘、喷杆和支撑臂，所述承载盘用于在所述干燥设备对晶圆进行干燥时承载晶圆，所述喷杆用于向所述晶圆喷射流体，所述喷杆设置在所述支撑臂上，所述支撑臂用于调整所述喷杆的位置；所述位置标定方法包括标定盘和喷嘴指向件； 位置标定方法包括： 控制标定盘移动并固定安装在所述承载盘上，且与所述承载盘平行，所述标定盘靠近所述喷杆的侧面设置有标识区域； 控制喷嘴指向件移动并安装在所述喷杆上，所述喷嘴指向件具有位于所述喷杆的喷射路径上的尖端； 通过驱动装置调整所述喷杆在所述支撑臂上的位置，使所述喷杆带动所述喷嘴指向件的尖端移动，直至通过信号采集装置确定所述尖端对准所述标定盘上的标识区域。
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