山东省地震工程研究院;山东省震灾风险防治中心(山东省工程地震研究中心)高涛获国家专利权
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龙图腾网获悉山东省地震工程研究院;山东省震灾风险防治中心(山东省工程地震研究中心)申请的专利基于扫描电镜观测的目标点快速定位方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119827546B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510033938.1,技术领域涉及:G01N23/2251;该发明授权基于扫描电镜观测的目标点快速定位方法及系统是由高涛;梁敏;刘福顺;王津津;宋润钊;胡兴晨;李志恒;刘尚;吴洪斌设计研发完成,并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于扫描电镜观测的目标点快速定位方法及系统在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种基于扫描电镜观测的目标点快速定位方法及系统。其中,首次观测时,在待测样品上选定目标点,并围绕该点建立多层次的参考标记物体系,通过调整样品台角度并记录每次获取样本图像的观测条件,确定目标点与参考标记物之间的相对角度和直线距离,利用多个样本图像中的角度差异及位置差异,重建参考标记物在三维坐标系中的位置信息,形成三维空间几何关系网络,当样品经过处理后再次进行扫描电镜观测时,使用三维空间几何关系网络计算目标点的初步位置。对样品台进行亚像素级别的移动,直至目标点位于视野中心,同时监测并校正系统误差或样品位移。本申请实施例提供的技术方案提高了目标点定位的准确性、适应性和效率。
本发明授权基于扫描电镜观测的目标点快速定位方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于扫描电镜观测的目标点快速定位方法,其特征在于,包括: 当待测样本首次进行扫描电镜观测时,在所述待测样本上选定目标点,并围绕所述目标点建立多层次、多尺度的参考标记物体系,且每个层次的参考标记物体系中至少包含三个非共线的形态特征并作为参考标记物,以确保所述待测样本在不同放大倍率下所选定的目标点具有相应的参考标记物体系作为定位基准; 通过调整放置所述待测样本的样本台的角度,在每次调整角度并通过扫描电镜获取包含所述目标点以及所述目标点周围的参考标记物的样本图像时,同时记录获取所述样本图像时的观测条件,包括观测视角、样本台角度、扫描电镜的放大倍率; 从每个样本图像中确定所述目标点相对于每个层次所选定的参考标记物之间以及所述参考标记物之间的相对角度和直线距离; 基于所述多个样本图像,确定同一参考标记物在不同观测视角下的角度差异及位置差异,并通过立体视觉技术,基于所述角度差异和位置差异重建所述参考标记物在三维坐标系中的位置信息,形成三维空间几何关系网络; 当所述待测样本经过处理后并进行二次扫描电镜观测时,根据当前的放大倍率确定对应层次的参考标记物,利用所述三维空间几何关系网络,获取当前层次的参考标记物的位置信息及参考标记物之间的相对角度和直线距离,并计算出所述目标点的初步位置; 应用局部微调算法,结合实时采集的样本图像,根据所述目标点的初步位置,对所述样本台进行亚像素级别的移动,直至所述目标点位于视野中心,以确定出所述目标点的目标位置,并在所述样本台的移动过程中,通过监测并校正可能存在的系统误差或样本位移,确保所述参考标记物之间原本确定的相对角度和直线距离保持一致。
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