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龙图腾网获悉成都理工大学工程技术学院申请的专利一种晶圆预对准装置及预对准方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121310950B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511870468.0，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种晶圆预对准装置及预对准方法是由陈劲松;杨松;殷俊文;刘孟林;陈铮;贾丽娜;王俊;徐扬扬设计研发完成，并于2025-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆预对准装置及预对准方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆预对准装置及预对准方法，装置包括安装平台、XY运动平台、转动平台、吸盘和边缘检测组件；方法包括装置校正、粗扫描与圆心定位、细扫描与缺口精确定位和对准执行；本发明通过软硬件协同，利用在线自校正消除系统误差，利用高阶拟合与特征筛选算法抑制随机误差与模型误差，提高了晶圆预对准装置的重复定位精度、缺口定向精度及设备的一致性，能够满足先进制程下对晶圆传输系统的高精度要求。

本发明授权一种晶圆预对准装置及预对准方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆预对准装置的预对准方法，其特征在于，基于一种晶圆预对准装置，所述晶圆预对准装置包括XY运动平台2、转动平台3、吸盘4和边缘检测组件6，所述预对准方法包括： 装置校正：控制所述XY运动平台2和所述转动平台3动作，使所述边缘检测组件6检测特定位置的数据，计算并补偿所述边缘检测组件6的检测中心与所述转动平台3的转动中心之间的轴线偏差及距离偏差，获得装置校正参数；驱动所述XY运动平台2完成误差校正； 粗扫描与圆心定位：控制所述吸盘4吸附晶圆旋转一周，通过所述边缘检测组件6采集第一晶圆边缘数据；基于所述第一晶圆边缘数据及所述装置校正参数，计算晶圆的圆心坐标及缺口的初步定向角度； 细扫描与缺口精确定位：控制所述转动平台3将晶圆旋转至所述初步定向角度的预设范围内，进行局部细采样以采集第二晶圆边缘数据；基于所述第二晶圆边缘数据计算精确的缺口定向角度； 对准执行：根据所述晶圆的圆心坐标和所述精确的缺口定向角度，控制所述转动平台3转动以实现定向，并控制所述XY运动平台2平移以补偿偏心，完成晶圆预对准； 其中，装置校正包括轴线偏差校正和距离偏差校正；所述装置校正参数包括所述边缘检测组件6与所述转动平台3的转动中心之间的轴线相交偏差值和所述边缘检测组件6的检测原点到所述转动平台3的转动中心之间的实际距离； 轴线偏差校正的方法包括以下步骤： 控制所述XY运动平台2带动所述吸盘4移动至X轴极限位置，使所述边缘检测组件6的检测光束覆盖所述吸盘4的边缘； 控制所述XY运动平台2沿Y轴方向步进移动，同时通过所述边缘检测组件6采集多个吸盘4边缘点数据； 利用误差补偿算法对所述吸盘4边缘点数据进行拟合计算，获得所述边缘检测组件6与所述转动平台3的转动中心之间的轴线相交偏差值； 距离偏差校正的方法包括以下步骤： 在所述吸盘4上放置尺寸已知的标准晶圆，控制所述转动平台3带动所述标准晶圆旋转，通过所述边缘检测组件6采集旋转过程中的晶圆边缘数据； 根据所述标准晶圆的半径、所述边缘检测组件6的预设检测长度以及采集的所述晶圆边缘数据的均值，计算所述边缘检测组件6的检测原点到所述转动平台3的转动中心之间的实际距离。

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