季华实验室杨一新获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利一种线型蒸发源及共蒸镀蒸发源获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121380854B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511958578.2,技术领域涉及:C23C14/24;该发明授权一种线型蒸发源及共蒸镀蒸发源是由杨一新设计研发完成,并于2025-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种线型蒸发源及共蒸镀蒸发源在说明书摘要公布了:本发明公开了一种线型蒸发源及共蒸镀蒸发源,属于真空镀膜设备技术领域,旨在解决现有技术加热不均、热辐射溢出严重、喷嘴易冷凝及维护不便的问题。该线型蒸发源包括设有腔室和喷嘴的本体,其关键在于,本体上开设有不贯通至腔室的狭缝,狭缝内设有加热源,加热源向腔室所在的本体壁加热。该设计实现了高效、均匀的直接加热,热量通过本体壁传导可有效加热喷嘴防止冷凝,且模块化结构便于维护。狭缝设于底部和顶部,或两侧壁上,以优化热场并抑制热辐射。此外,还可设置主干‑支干式加热网络、腔内整流板或集成多个单元形成共蒸镀源。本发明特别适用于金属等高熔点材料的蒸镀,具有加热效率高、温度控制精准、膜厚均匀性好及维护便捷的优点。
本发明授权一种线型蒸发源及共蒸镀蒸发源在权利要求书中公布了:1.一种线型蒸发源,包括本体和设于本体顶部的喷嘴,所述本体内设有用于容纳蒸发材料的腔室,所述喷嘴与所述腔室连通,其特征在于: 所述本体的顶部设有至少一个自本体外壁向内开设,但终止于本体壁内,且并不贯通至腔室内部的狭缝; 还包括通过支撑件或底座可拆卸安装在狭缝内的加热源; 所述加热源为片状加热器,所述片状加热器的两个宽面与所述狭缝的两个内侧壁相对设置,所述加热源产生的热量通过狭缝内侧壁直接导入本体壁,再经本体壁均匀传导至腔室内壁、蒸发材料及喷嘴; 所述加热源对所述腔室内的蒸发材料、所述喷嘴以及所述本体的内壁进行加热。
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