合肥晶合集成电路股份有限公司李海峰获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种曝光机焦点补偿方法及曝光机焦点补偿系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121411088B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512016732.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种曝光机焦点补偿方法及曝光机焦点补偿系统是由李海峰;赵志豪;张祥平;黄玉设计研发完成，并于2025-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种曝光机焦点补偿方法及曝光机焦点补偿系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种曝光机焦点补偿方法及曝光机焦点补偿系统，曝光机焦点补偿方法通过旋转获得多组旋转后GRP形变校正映射图和旋转后Z向波动量，并将其与第一Z向波动量进行计算得到Z向波动差异值，并通过Z向波动差异值识别出晶圆表面是否异常，并在异常时中止补偿，避免误操作，主动排除异常晶圆降低生产晶圆报废，且测试过程中就可以快速筛选出标准晶圆状态。取得的预想不到的技术效果：可以提前筛出异常标准晶圆如微粒污染，阻断MGSC误补偿链路，以从源头避免关键尺寸离焦。
本发明授权一种曝光机焦点补偿方法及曝光机焦点补偿系统在权利要求书中公布了：1.一种曝光机焦点补偿方法，其特征在于，包括以下步骤： 将标准晶圆置于曝光机的工作台上，在初始方位进行第一测量，以生成第一光栅尺形变校正映射图，并根据所述光栅尺形变校正映射图提取第一Z向波动量； 旋转所述标准晶圆至少两个预设角度，并分别在每个所述预设角度进行测量，以生成每个所述预设角度对应的旋转后光栅尺形变校正映射图，并根据每个所述旋转后光栅尺形变校正映射图分别提取旋转后Z向波动量； 根据所述第一Z向波动量与所有所述旋转后Z向波动量，计算出所述标准晶圆的Z向波动差异值，在所述Z向波动差异值大于阈值时判定为所述标准晶圆异常，停止焦点补偿并更换所述标准晶圆。
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