浙江大学;浙江创芯集成电路有限公司任堃获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学;浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种基于边级定位的光刻热点检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121432815B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512003618.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于边级定位的光刻热点检测方法是由任堃;刘冉冉;李博浩;孙奇;高大为;吴永玉设计研发完成，并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于边级定位的光刻热点检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种基于边级定位的光刻热点检测方法，首先将集成电路版图构建为一个图结构，其中每个节点对应集成电路版图中多边形的一条边，边对应节点之间的连接关系；引入边类型，所述边类型包括邻接边、图形边和空间边；提取边特征和节点特征，构建得到完整的图结构，输入至预先训练的机器学习模型中，输出每个节点的热点预测结果。本发明摒弃了将版图栅格化为图像或切分为矩形的方法，直接使用构成版图的最基本几何元素来构建图的节点，进而实现了高精度定位和非曼哈顿版图支持，为精确映射热点到具体问题边提供了可能。
本发明授权一种基于边级定位的光刻热点检测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于边级定位的光刻热点检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 将集成电路版图构建为一个图结构G=V,E,R，其中，V为节点的集合，每个节点对应集成电路版图中多边形的一条边；E为边的集合，边对应节点之间的连接关系；R为边类型的集合，所述边类型包括邻接边、图形边和空间边，邻接边定义为：连接同一多边形中首尾相邻的两条边；图形边定义为：连接两条在空间上被版图图形材料分隔的多边形边；空间边定义为：连接两条在空间上被空白区域分隔的多边形边；对于邻接边，其边特征由该边所连接的两条相邻多边形边之间的夹角决定； 对于图形边和空间边，其边特征用一个三元组ff1,f2,f3表示： f1定义为角度差，即两条边之间的方向角度差值；f2定义为重叠长度，即两条边在其投影区域上的重叠部分的长度；f3定义为投影距离，即两条边之间的最小间距； 提取边特征和节点特征，构建得到完整的图结构，输入至预先训练的机器学习模型中，输出每个节点的热点预测结果；所述机器学习模型采用图神经网络GNN模型。
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