无锡恒大电子科技有限公司王敏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡恒大电子科技有限公司申请的专利一种半导体加工用研磨液过滤装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121466671B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610003257.5,技术领域涉及:B01D36/00;该发明授权一种半导体加工用研磨液过滤装置是由王敏;周懂懂;沈奋设计研发完成,并于2026-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体加工用研磨液过滤装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体加工用研磨液过滤装置,属于半导体硅片研磨废液处理技术领域,包括过滤架,所述过滤架顶部内侧设有过滤桶,所述过滤架顶部对应过滤桶设有轴承座,所述轴承座内转动连接有联动轴,该联动轴的一端伸入所述过滤桶内部且与过滤桶的端部转动连接,所述过滤架上安装有减速电机,所述联动轴的另一端与所述减速电机的输出端连接,本发明中,动态过滤效应,通过驱动深层纤维滤芯、第一膜滤芯以及第二膜滤芯做圆周运动,使料液相对于滤膜表面形成动态剪切,能够打破浓差极化层,减少滤饼形成阻力,从而提升过滤速率,持续扰动液体,防止颗粒因表面张力作用在膜孔处架桥或深层附着,有效减缓滤芯堵塞,延长其有效工作周期。
本发明授权一种半导体加工用研磨液过滤装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体加工用研磨液过滤装置,包括过滤架1,其特征在于,所述过滤架1顶部内侧设有过滤桶2,所述过滤架1顶部对应过滤桶2设有轴承座6,所述轴承座6内转动连接有联动轴5,该联动轴5的一端伸入所述过滤桶2内部且与过滤桶2的端部转动连接,所述过滤架1上安装有减速电机7,所述联动轴5的另一端与所述减速电机7的输出端连接; 所述联动轴5的轴面上沿周向均匀设有多个三向折架8,各所述三向折架8沿旋转方向分别开设三个过滤口,三个过滤口内可拆卸地分别卡接有深层纤维滤芯9、第一膜滤芯10和第二膜滤芯11,各所述三向折架8的外圆弧面上均设有封堵板12,所述三向折架8通过所述封堵板12与所述过滤桶2的内壁滑动密封配合; 所述过滤桶2的底部设有第二输液管4,所述过滤桶2外壁的上部设有第一输液管3,所述第一输液管3与第二输液管4均与所述过滤桶2的内部连通; 所述过滤桶2的另一端连接有外环套13,所述外环套13的内环面开设有内环槽14,所述内环槽14内转动连接有转动盘15; 所述转动盘15的圆周面上开设有滑槽20,所述滑槽20内滑动连接有滑块19,所述滑块19与所述内环槽14的内壁固定连接,所述滑槽20内设有第一弹簧21,所述滑块19通过所述第一弹簧21与所述滑槽20的内壁弹性连接; 所述转动盘15的轴心处设有转动套16,所述转动套16的端口内安装有电磁铁18,所述联动轴5朝向所述转动盘15的一端连接有永磁轴17,所述永磁轴17的端部转动连接于所述转动套16内,并与所述电磁铁18磁吸配合; 所述转动盘15的端面对应其中一个三向折架8的两侧分别开设有第一插接口22和第二插接口23,所述第一插接口22内可拆卸地插接有第一插接盒24,所述第一插接盒24的端部连接有输出管25; 所述第二插接口23内可拆卸地插接有第二插接盒26,所述第二插接盒26的端部连接有输入管27; 所述转动盘15的端面安装有电动推杆29,所述电动推杆29的伸缩端连接有补偿板28,所述补偿板28设置于所述第一插接盒24与第二插接盒26之间,并与二者连接。
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