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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种基于双单向阀的开放式结构MEMS致动冷却芯片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121470428B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610019936.1，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权一种基于双单向阀的开放式结构MEMS致动冷却芯片是由邹雪翠;杨卓;梁浩明;刘远;罗东向设计研发完成，并于2026-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于双单向阀的开放式结构MEMS致动冷却芯片在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于双单向阀的开放式结构MEMS致动冷却芯片，属于微机电系统技术领域。冷却芯片包括振动组件、驱动组件和密封膜。振动组件包括振动层，振动层包括中心振动件和连接件，多个连接件设置于中心振动件的外周侧。驱动组件被配置为驱动振动组件振动，驱动组件包括第一衬底和第二衬底，第一衬底被配置为环形，连接件与第一衬底的第一侧连接，第二衬底盖设于第一衬底的第二侧，以使第一衬底和第二衬底围设出冷却腔，第一衬底上开设有第一开口，第二衬底上开设有第二开口。密封膜能够封闭相邻两个连接件之间的缺口，当驱动组件驱动振动层振动，冷却腔能够通过第一开口吸入流体，以及通过第二开口喷出流体。本发明具有较高的散热效率。

本发明授权一种基于双单向阀的开放式结构MEMS致动冷却芯片在权利要求书中公布了：1.一种基于双单向阀的开放式结构MEMS致动冷却芯片，其特征在于，包括： 振动组件，包括振动层，所述振动层包括中心振动件和连接件，所述连接件的数量为多个，多个所述连接件设置于所述中心振动件的外周侧； 驱动组件，被配置为驱动所述振动组件振动，所述驱动组件包括第一衬底和第二衬底，所述第一衬底被配置为环形，所述连接件远离所述中心振动件的一侧与所述第一衬底的第一侧连接，所述第二衬底盖设于所述第一衬底的第二侧，以使所述第一衬底和所述第二衬底围设出冷却腔，所述第一衬底上开设有第一开口，所述第二衬底上开设有第二开口，所述第一开口、所述冷却腔和所述第二开口相互连通； 密封膜，设置于所述振动组件远离所述第一衬底的一侧，以使所述密封膜能够封闭相邻两个所述连接件之间的缺口，当所述驱动组件驱动所述振动层振动，所述冷却腔能够通过所述第一开口吸入流体，以及通过所述第二开口喷出所述流体，以使所述流体流经热源； 所述冷却芯片包括第一阀门和第二阀门，所述第一阀门设置于所述第一开口，所述第一阀门被配置为仅允许所述流体从外界流动至所述冷却腔内，所述第二阀门设置于所述第二开口，所述第二阀门被配置为仅允许所述流体从所述冷却腔内流动至所述外界； 所述振动组件包括第一驱动层和第二驱动层，所述振动层设置于所述第一驱动层和所述第二驱动层之间，所述第二驱动层与所述第一衬底连接，所述第二衬底中集成有驱动电路，所述第一衬底中开设有互连通孔，以使所述驱动组件与所述振动组件电连接，以驱动所述中心振动件振动，所述互连通孔在所述第二衬底上的投影位于所述连接件在所述第二衬底上的投影的边缘位置。

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