买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉江苏优众微纳半导体科技有限公司申请的专利一种气氛与流场协同可控的微透镜热回流装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121613544B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610142682.2，技术领域涉及：G02B3/00；该发明授权一种气氛与流场协同可控的微透镜热回流装置及方法是由李宁;居法银;赵阳洋设计研发完成，并于2026-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气氛与流场协同可控的微透镜热回流装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种气氛与流场协同可控的微透镜热回流装置，包括：一个多区独立控制的加热平台；一个包围所述加热平台的密闭式气氛腔室；一个与所述密闭式气氛腔室连接、用于向腔内提供至少两种可控气氛并精确控制其混合比例的气路系统；一个设置在所述密闭式气氛腔室内、位于所述加热平台上方的主动式气流均化系统；一个位于所述加热平台上端面的基片；一个用于实时监测所述基片表面二维温度场分布的温度监测模块；以及一个智能控制系统，所述智能控制系统分别与所述加热平台、气路系统、温度监测模块信号连接。还公开了一种气氛与流场协同可控的微透镜热回流方法。本发明能够有效解决环境干扰、热质传递不均和调控维度单一的问题。

本发明授权一种气氛与流场协同可控的微透镜热回流装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种气氛与流场协同可控的微透镜热回流装置，其特征在于，包括： 一个多区独立控制的加热平台1； 一个包围所述加热平台1的密闭式气氛腔室2； 一个与所述密闭式气氛腔室2连接、用于向腔内提供含有有机溶剂的蒸汽与惰性气体的混合气氛并精确控制其混合比例的气路系统； 一个设置在所述密闭式气氛腔室2内、位于所述加热平台1上方的主动式气流均化系统； 一个用于监测所述密闭式气氛腔室2内气压的压力传感器； 一个位于所述加热平台1上端面的基片9； 一个用于实时监测所述基片9表面二维温度场分布的温度监测模块6； 以及一个智能控制系统7，所述智能控制系统7分别与所述加热平台1、气路系统、温度监测模块6信号连接； 所述密闭式气氛腔室2采用双层结构，内层为耐化学腐蚀的石英玻璃，外层为不锈钢水冷夹套，腔室本体设有一个主进气口3、一个辅助进气口3a用于混合不同气体，以及一个呈环形布置的多孔出口4； 所述气路系统包括至少两个气体质量流量控制器，用于精确控制含有有机溶剂的蒸汽与惰性气体的两种混合气氛的混合比例，或两种以上气体的混合比例； 所述主动式气流均化系统由微孔匀流板5和导流腔8共同构成； 所述导流腔8位于所述微孔匀流板5上方，其锥形设计将进气气流由点源转化为面源，再经所述微孔匀流板5二次均化，在所述基片9上方形成均匀、稳定的层流气氛； 所述智能控制系统7用于实时接收温度、气体流量和压力传感器信号，并动态调整所述加热平台1各加热区的功率以及所述气体质量流量控制器，补偿因气流带来的热扰动，进行温度与气氛的独立控制； 其中，所述压力传感器用于实时监测并反馈所述密闭式气氛腔室2内的气压。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏优众微纳半导体科技有限公司，其通讯地址为：226000 江苏省南通市高新技术产业开发区双福路126号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。