江苏芯势科技有限公司徐盛松获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯势科技有限公司申请的专利一种晶圆量测驱动机构用定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224124541U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520974962.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆量测驱动机构用定位装置是由徐盛松;马行宇;王迪;张峰设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆量测驱动机构用定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆量测驱动机构用定位装置，定位装置安装在晶圆量测驱动机构的定位工位处，包括中心定位模块、旋转相位定位模块和编码识别模块，中心定位模块包括两个卡臂和卡臂驱动组件，位于两个卡臂上的卡爪分别抵接在晶圆的边缘上，卡爪与晶圆边缘抵接的晶圆抵接部始终位于圆心位置固定的相同半径的圆周上，上述圆心位置位于定位工位状态下晶圆量测驱动机构的转台模块的旋转轴上，提高了晶圆中心定位精度。同时，布置在中心定位模块上方的旋转相位定位模块和编码识别模块在同一径向驱动设备的驱动下移动到合适的半径位置，分别对位于晶圆边缘的定向刻痕和编码进行检测、识别，减少了晶圆需在不同工位之间转运的次数，简化了量测工艺，节省了量测时间。
本实用新型一种晶圆量测驱动机构用定位装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆量测驱动机构用定位装置，其特征在于：包括安装板、中心定位模块、旋转相位定位模块、编码识别模块和径向驱动设备；所述中心定位模块、旋转相位定位模块、编码识别模块和径向驱动设备安装在安装板上，所述安装板固定在晶圆量测设备机架上，所述旋转相位定位模块和编码识别模块设置在中心定位模块的上方；所述中心定位模块包括两个卡臂和卡臂驱动组件，所述卡臂驱动组件安装在安装板上，两个所述卡臂安装在卡臂驱动组件上；在两个所述卡臂上设有卡爪，所述卡爪与晶圆边缘抵接的晶圆抵接部始终位于圆心位置固定的相同半径的圆周上，所述圆心位置位于定位工位状态下晶圆量测驱动机构的转台模块的旋转轴上；所述径向驱动设备同时驱动旋转相位定位模块和编码识别模块沿晶圆径向向外或向内移动。
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