日本碍子株式会社堀裕二获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利复合基板、弹性波元件及复合基板的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113906674B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080040401.3,技术领域涉及:H03H3/08;该发明授权复合基板、弹性波元件及复合基板的制造方法是由堀裕二;山寺乔纮设计研发完成,并于2020-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本复合基板、弹性波元件及复合基板的制造方法在说明书摘要公布了:在将压电性材料基板和包含水晶的支撑基板接合时,使接合强度提高,使得即便减薄压电性材料基板也不会剥离。复合基板7、7A具有:包含水晶的支撑基板4、压电性材料基板1、1A、支撑基板4与压电性材料基板1、1A之间所存在的第一非晶质层5、以及支撑基板4与第一非晶质层5之间所存在的第二非晶质层11。第一非晶质层5含有10~30atom%的硅原子,第二非晶质层11含有1~10atom%的氟原子。
本发明授权复合基板、弹性波元件及复合基板的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种复合基板,其特征在于,具有: 包含水晶的支撑基板、 压电性材料基板、 所述支撑基板与所述压电性材料基板之间所存在的第一非晶质层、以及 所述支撑基板与所述第一非晶质层之间所存在的第二非晶质层, 所述第一非晶质层含有10~30atom%的硅原子,所述第二非晶质层含有1~10atom%的氟原子。
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