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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆清洗设备的卡盘组件及晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114156224B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111385282.8，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权晶圆清洗设备的卡盘组件及晶圆清洗设备是由张玉涛设计研发完成，并于2021-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆清洗设备的卡盘组件及晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆清洗设备的卡盘组件及晶圆清洗设备，卡盘组件包括顶升机构、卡盘基体、卡盘环和驱动器，卡盘基体用于承载晶圆，顶升机构用于带动承载于卡盘基体上的晶圆升降，卡盘环固定设置于卡盘基体的下方，驱动器用于驱动卡盘基体相对于卡盘环转动，其中，顶升机构包括顶针、转动部和检测元件；转动部与卡盘环转动连接，转动部与卡盘基体可相对滑动，卡盘基体转动时可带动转动部转动；顶针穿设在卡盘基体中，转动部与顶针相接触，转动部转动的过程中可带动顶针升降，当顶针升高至预设位置时，转动部触发检测元件。上述方案能够解决晶圆清洗设备的可靠性较差的问题。

本发明授权晶圆清洗设备的卡盘组件及晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件包括顶升机构100、卡盘基体200、卡盘环300和驱动器400，所述卡盘基体200用于承载晶圆500，所述顶升机构100用于带动承载于所述卡盘基体200上的所述晶圆500升降，所述卡盘环300固定设置于所述卡盘基体200的下方，所述驱动器400用于驱动所述卡盘基体200相对于所述卡盘环300转动，其中， 所述顶升机构100包括顶针110、转动部120和检测元件130； 所述转动部120与所述卡盘环300转动连接，所述转动部120与所述卡盘基体200可相对滑动，所述卡盘基体200转动时可带动所述转动部120转动； 所述顶针110穿设在所述卡盘基体200中，所述转动部120与所述顶针110相接触，所述转动部120转动的过程中可带动所述顶针110升降，当所述转动部120带动所述顶针110升高至预设位置的同时，所述转动部120触发所述检测元件130； 所述转动部120包括主体部121、顶升延伸部122和触发延伸部123，所述主体部121与所述卡盘环300转动连接，所述顶升延伸部122和所述触发延伸部123分别位于所述主体部121相背两侧，所述顶升延伸部122和所述触发延伸部123均沿背离所述主体部121的一侧延伸，所述顶升延伸部122背离所述主体部121的一端与所述顶针110相接触，所述触发延伸部123背离所述主体部121的一端与所述检测元件130相对设置。

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