买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆输送装置及方法、半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114420611B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210054555.9，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权晶圆输送装置及方法、半导体工艺设备是由沈培训;张明;赵曾男;徐瑶;胡睿凡设计研发完成，并于2022-01-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆输送装置及方法、半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆输送装置及方法、半导体工艺设备，该装置，应用于半导体工艺设备，包括上料机构、存放机构、平移机构、夹持机构和到位检测机构，其中，上料机构用于在第一位置处存放未加工的或者已加工的晶圆；存放机构用于在第二位置处存放未加工的或者已加工的晶圆；平移机构与夹持机构连接，用于驱动夹持机构在第一位置与第二位置之间移动；夹持机构用于在位于第一位置时，朝朝夹持晶圆或解除夹持晶圆的位置运动；或者在位于第二位置时，朝夹持晶圆或解除夹持晶圆的位置运动；到位检测机构用于检测夹持机构是否到达夹持晶圆的位置。本发明可以避免因夹持机构并未运动至能够夹持晶圆的位置而导致的取片不成功、甚至碎片的问题。

本发明授权晶圆输送装置及方法、半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆输送装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括上料机构、存放机构、平移机构、夹持机构和到位检测机构，其中， 所述上料机构用于在第一位置处存放未加工的或者已加工的多个平边晶圆； 所述存放机构用于在第二位置处存放未加工的或者已加工的多个平边晶圆； 所述平移机构与所述夹持机构连接，用于驱动所述夹持机构在所述第一位置与所述第二位置之间移动； 所述夹持机构用于在位于所述第一位置时，朝夹持晶圆或解除夹持晶圆的位置运动；或者在位于所述第二位置时，朝夹持晶圆或解除夹持晶圆的位置运动；其中，所述夹持机构在到达所述夹持晶圆的位置时在每个所述平边晶圆的两侧夹持住所述平边晶圆的边缘； 所述到位检测机构用于检测所述夹持机构是否到达所述夹持晶圆的位置； 所述晶圆输送装置还包括平边检测机构，所述平边检测机构与所述平移机构连接，用于在所述平移机构驱动所述夹持机构移动至所述第一位置或者所述第二位置之后，且在所述夹持机构夹持晶圆之前，检测所述上料机构上的所述平边晶圆的平边是否与水平面平行，且朝上； 所述平边检测机构包括对射式激光传感器，所述对射式激光传感器具有信号发射部和信号接收部，二者相对，且间隔设置，在所述平移机构驱动所述夹持机构移动至所述第一位置之后，所述信号发射部和信号接收部能够分别位于所述上料机构上的所述平边晶圆的两侧； 所述信号发射部用于朝向所述信号接收部发射光束，所述信号接收部用于接收未被所述平边晶圆遮挡的光束，以能够根据所述光束被遮挡的程度判断所述上料机构上的所述平边晶圆的平边是否与水平面平行，且朝上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。