买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北海惠科半导体科技有限公司申请的专利干燥设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115458444B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211182080.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权干燥设备是由杨永兴;王国峰设计研发完成，并于2022-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本干燥设备在说明书摘要公布了：本公开涉及一种干燥设备，包括：干燥箱，用于容纳晶圆组；分离机构，设于干燥箱内，分离机构包括分离运动件和支撑件，支撑件能够与片框的底开口相对以用于支撑晶圆，分离运动件用于与片框连接，以带动片框在竖直方向上进行升降运动；旋转机构，包括驱动组件及至少一个滚轴，驱动组件与滚轴相连，用于驱动滚轴在滚轴的轴向上移动，且还用于驱动滚轴进行自转，滚轴的轴向与晶圆的轴向相平行；控制机构，与驱动组件连接，用于在片框下降至与晶圆相分离的第一预设位置时，控制驱动组件驱动滚轴移动至晶圆与片框之间，并用于在滚轴与晶圆相接触时，控制驱动组件驱动滚轴进行自转，以带动晶圆进行自转。本方案可提高晶圆干燥效果。

本发明授权干燥设备在权利要求书中公布了：1.一种干燥设备，用于对晶圆组进行干燥，所述晶圆组包括片框及支撑于所述片框内的晶圆，其特征在于，所述干燥设备包括： 干燥箱，所述干燥箱的顶端呈敞开状，以用于供所述晶圆组放置于所述干燥箱内； 箱盖，设置在所述干燥箱的顶端，所述箱盖的底面设有与所述晶圆对应的卡槽，所述卡槽至少用于限制所述晶圆在所述晶圆的轴向上的位移； 分离机构，设于所述干燥箱内，所述分离机构包括分离运动件和支撑件，所述支撑件能够与所述片框的底开口相对，所述支撑件包括运动部和支撑部，所述支撑部用于支撑所述晶圆，所述运动部与所述支撑部连接，以用于带动所述支撑部在竖直方向上移动，所述分离运动件用于与所述片框连接，以带动所述片框在竖直方向上进行升降运动； 旋转机构，包括驱动组件及至少一个滚轴，所述驱动组件包括与所述滚轴连接的水平驱动件、旋转驱动件和竖直驱动件，所述滚轴的轴向与所述晶圆的轴向相平行； 控制机构，与所述运动部、所述水平驱动件、所述旋转驱动件和所述竖直驱动件连接； 第一位置检测器，安装于所述干燥箱并与所述控制机构连接，所述第一位置检测器用于检测所述片框在所述干燥箱内的位置； 第二位置检测器，安装于所述干燥箱或所述滚轴，并与所述控制机构连接，所述第二位置检测器用于检测所述滚轴与所述晶圆之间的位置关系； 其中，所述第一位置检测器用于在检测到所述片框下降至第一预设位置时向所述控制机构发送第一水平移动指令，所述控制机构用于响应所述第一水平移动指令控制所述水平驱动件驱动所述滚轴移动至所述晶圆与所述片框之间，以使所述滚轴与多个晶圆组对应；所述第二位置检测器用于在检测到所述滚轴与所述晶圆之间具有间隙时向所述控制机构发送竖直移动指令，所述控制机构用于响应所述竖直移动指令控制所述竖直驱动件驱动所述滚轴上升至与所述晶圆相接触的位置；所述第二位置检测器用于在检测到所述滚轴与所述晶圆相接触时向所述控制机构发送转动指令；所述控制机构用于响应所述转动指令控制所述旋转驱动件驱动所述滚轴进行自转，以带动所述晶圆进行自转； 所述控制机构还用于在控制所述片框下降至所述第一预设位置的过程中控制所述运动部上升，以带动所述支撑部从初始位置上升至第二预设位置； 在所述支撑部处于所述初始位置时，支撑在所述支撑部上的晶圆顶端位于所述卡槽的下方，并与所述卡槽之间具有预设距离； 在所述支撑部处于所述第二预设位置时，支撑在所述支撑部上的晶圆顶端位于所述卡槽内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北海惠科半导体科技有限公司，其通讯地址为：536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司16幢三楼301室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。