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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利光罩数据处理方法、装置、设备、介质和程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121258984B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511806979.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权光罩数据处理方法、装置、设备、介质和程序产品是由马春雨;李建政;林今焕;张月茹设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本光罩数据处理方法、装置、设备、介质和程序产品在说明书摘要公布了：本申请涉及一种光罩数据处理方法、装置、设备、介质和程序产品。该方法包括：获取当前光罩设计数据；对当前光罩设计数据进行处理得到各目标区域的图案密度信息和图案尺寸信息；进而生成用于表征各目标区域的缺陷程度的热力图；获取缺陷程度大于或等于缺陷阈值的目标区域，基于目标区域的图案密度信息和图案尺寸信息，确定目标区域的缺陷分类；在缺陷分类包括图案密度分类时，获取目标区域的目标面积，在目标面积大于面积阈值时，对目标区域进行功能区域识别，并提取功能区域内的关键信号路径，基于功能区域及关键信号路径确定拆分边界，基于拆分边界对当前光罩设计数据，进行调整。采用本方法能够预先对光罩设计数据进行优化。

本发明授权光罩数据处理方法、装置、设备、介质和程序产品在权利要求书中公布了：1.一种光罩数据处理方法，其特征在于，所述方法包括： 获取当前光罩设计数据； 对所述当前光罩设计数据进行处理得到各目标区域的图案密度信息和图案尺寸信息； 基于各所述目标区域的图案密度信息和图案尺寸信息，生成用于表征各所述目标区域的缺陷程度的热力图，所述缺陷程度是指危险程度； 获取所述缺陷程度大于或等于缺陷阈值的所述目标区域，并基于所述目标区域的图案密度信息和图案尺寸信息，确定所述目标区域的缺陷分类； 基于所述缺陷分类对所述当前光罩设计数据，进行调整，包括：在所述缺陷分类包括图案密度分类的情况下，获取所述缺陷程度大于或等于缺陷阈值的所述目标区域的目标面积，在所述目标面积大于面积阈值时，对所述目标面积大于面积阈值的所述目标区域进行功能区域识别，并提取识别得到的功能区域内的关键信号路径，基于所述功能区域以及所述关键信号路径确定拆分边界，基于所述拆分边界对所述当前光罩设计数据，进行调整； 所述基于所述拆分边界对所述当前光罩设计数据，进行调整，包括： 基于所述拆分边界确定填充的虚拟图案的通道宽度的可选范围，并基于所述填充的虚拟图案的通道宽度的可选范围、填充的虚拟图案的图案密度、拆分后的各拆分区域的图案密度以及所述目标区域的图案密度确定填充的虚拟图案的通道宽度； 基于所述目标区域内的N型有源区面积与P型有源区面积的比例，确定填充的虚拟图案的图案类型，所述图案类型包括N型虚拟图案或P型虚拟图案； 基于所述拆分边界、填充的虚拟图案的通道宽度、所述填充的虚拟图案的图案密度以及填充的虚拟图案的图案类型在所述目标区域的邻近区域进行虚拟图案填充。

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