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常州臻晶半导体有限公司赵海殿获国家专利权

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龙图腾网获悉常州臻晶半导体有限公司申请的专利籽晶粘接炉及其工作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121407231B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202512009461.6,技术领域涉及:C30B35/00;该发明授权籽晶粘接炉及其工作方法是由赵海殿;祁雪风;王晗;陆敏设计研发完成,并于2025-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

籽晶粘接炉及其工作方法在说明书摘要公布了:本发明属于碳化硅单晶生长领域,具体涉及籽晶粘接的设备,尤其涉及一种籽晶粘接炉及其工作方法。其中,籽晶粘接炉,包括:炉体;粘接工装;其中,粘接工装包括:内环;外套环。外套环的底部设置有旋转挤压台;驱动部,其用于驱动外套环转动;在对籽晶进行粘接时,通过外力将籽晶杆插入到内环中,并与旋转挤压台上的籽晶的粘接面贴合,通过驱动部驱动外套环转动,从而通过旋转挤压台带动籽晶转动,以将籽晶粘接面上胶水层的气泡挤出。通过驱动部驱动外套环转动,从而通过旋转挤压台带动籽晶转动,能够有效挤出籽晶粘接面上胶水层的气泡,确保粘接界面完整,提高粘接强度,从而改善籽晶的传热和稳定性,避免在高温生长过程中出现籽晶脱落。

本发明授权籽晶粘接炉及其工作方法在权利要求书中公布了:1.一种籽晶粘接炉,其特征在于,包括: 炉体100,其设置有加热槽110; 粘接工装200,其设置在所述加热槽110内; 其中,所述粘接工装200包括: 内环210,其用于籽晶杆导向; 外套环220,其转动在所述内环210的下端,且,所述外套环220的底部设置有旋转挤压台221; 驱动部230,其用于驱动所述外套环220转动; 在对籽晶300进行粘接时,通过外力将籽晶杆插入到内环210中,并与所述旋转挤压台221上的籽晶300的粘接面贴合,通过驱动部230驱动外套环220转动,从而通过所述旋转挤压台221带动籽晶300转动,以将籽晶300粘接面上胶水层的气泡挤出; 所述内环210的直径为R; 籽晶杆的直径为r; 其中,R=r; 所述内环210的侧壁的下方设置有排气口211; 在籽晶杆插入到内环210时,通过排气口211将籽晶300粘接面与籽晶杆之间的空气排空; 所述排气口211的数量为两个; 两个所述排气口211相对设置; 所述排气口211的侧壁设置有缓冲件212; 在籽晶杆插入到内环210时,对籽晶杆的下落进行缓冲; 所述缓冲件212包括: 转动翻板212a,其通过复位扭簧以及插杆转动设置在所述排气口211内; 在初始状态时,转动翻板212a水平设置在所述内环210中,且朝向所述内环210中部伸出; 所述排气口211的侧壁设置有滑动槽211a; 所述滑动槽211a内设置有复位弹簧; 所述复位弹簧一端与所述滑动槽211a的底部抵持,另一端与所述插杆抵持; 在籽晶杆插入到内环210时,通过籽晶杆带动翻转板沿滑动槽211a下压,完成初步缓冲,直至插杆滑动至极限位置时,籽晶杆继续下压,带动转动翻板212a发生翻转,完成二次缓冲。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人常州臻晶半导体有限公司,其通讯地址为:213000 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区武宜南路377号19号厂房一层东;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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