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龙图腾网获悉上海陛通半导体能源科技股份有限公司申请的专利旋转加热器抗干扰滑环系统及气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121472799B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610013139.2，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权旋转加热器抗干扰滑环系统及气相沉积设备是由陈金良;季高明;宋维聪设计研发完成，并于2026-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本旋转加热器抗干扰滑环系统及气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体设备技术领域，公开一种旋转加热器抗干扰滑环系统及气相沉积设备。旋转加热器抗干扰滑环系统包括转子、定子和导电滑环。转子的顶端与旋转加热器连接，以带动旋转加热器转动。定子包括底座和多个环形件，底座的内部具有第一空腔，转子的底端转动插设于第一空腔内。多个环形件均设置于底座上并转动套设于转子的外周，多个环形件与转子配合形成相互隔离的多个第二空腔。导电滑环具有多个，第一空腔和多个第二空腔内分别设置至多一个导电滑环。导电滑环包括能够相对转动的导电环和电刷，导电环和电刷的其中一个固定于定子，另一个固定于转子。

本发明授权旋转加热器抗干扰滑环系统及气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.旋转加热器抗干扰滑环系统，其特征在于，包括： 转子1，所述转子1的顶端与旋转加热器连接，以带动所述旋转加热器转动； 定子2，包括底座21和多个环形件；所述底座21的内部具有第一空腔101，所述转子1的底端转动插设于所述第一空腔101内；多个所述环形件均设置于所述底座21上并转动套设于所述转子1的外周，多个所述环形件与所述转子1配合形成相互隔离的多个第二空腔102； 导电滑环，具有多个，所述第一空腔101和多个所述第二空腔102内分别设置至多一个所述导电滑环；所述导电滑环包括能够相对转动的导电环61和电刷62，所述导电环61和所述电刷62的其中一个固定于所述定子2，另一个固定于所述转子1； 所述转子1的内部沿其轴向设置有分隔的第一穿线孔111和第二穿线孔112，所述第一穿线孔111和所述第二穿线孔112内分别穿设有电缆； 穿设于所述第一穿线孔111的第一电缆，一端连接于所述旋转加热器，另一端连接于所述第一空腔101内的所述导电滑环；穿设于所述第二穿线孔112的第二电缆，一端连接于所述旋转加热器，另一端连接于所述第二空腔102内的所述导电滑环； 所述底座21包括底部211和隔离板212，所述底部211具有所述第一空腔101，所述隔离板212盖设于所述第一空腔101的开口处，所述隔离板212上设置转动孔，所述转子1穿设于所述转动孔以使所述转子1的底端转动插设于所述第一空腔101内；多个所述环形件设置于所述隔离板212上并转动套设于所述转子1的外周； 所述环形件包括第一环形部221和第二环形部222，所述第一环形部221与所述转子1同轴设置且与所述隔离板212连接，所述第二环形部222连接于所述第一环形部221并延伸至所述转子1的外周，所述第二环形部222与所述转子1的外周转动连接； 多个所述环形件的第一环形部221沿所述转子1的径向间隔设置且与所述隔离板212连接，多个所述环形件的第二环形部222沿所述转子1的轴向依次与所述转子1的外周转动连接，以形成多个相互隔离且依次套设的所述第二空腔102； 所述转子1包括本体11和顶盖板12，所述本体11的顶端与所述旋转加热器连接，所述本体11穿设于所述转动孔以使所述本体11的底端转动插设于所述第一空腔101内，所述顶盖板12设置于所述本体11的外周并沿所述本体11的径向延伸； 所述环形件包括第一环形件22和第二环形件23，所述第一环形件22的第一环形部221间隔设置于所述第二环形件23的第一环形部221的内围，所述第一环形件22的第二环形部222与所述本体11的外周转动连接，所述第二环形件23的第二环形部222与所述顶盖板12的外周转动连接，以形成两个相互隔离且套设的所述第二空腔102。

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