芯火微测(成都)科技有限公司林爽获国家专利权
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龙图腾网获悉芯火微测(成都)科技有限公司申请的专利一种芯片倒置检测微光显微镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121522430B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610049183.9,技术领域涉及:G01R31/311;该发明授权一种芯片倒置检测微光显微镜是由林爽;冷先进;杨浩;龙洋洁设计研发完成,并于2026-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片倒置检测微光显微镜在说明书摘要公布了:本发明公开了一种芯片倒置检测微光显微镜,包括微光显微镜本体,微光显微镜本体包括机仓以及设置在机仓内的样品台,样品台的旁侧设置有探针台,探针台上设置有探针座,样品台上可分离地设置有基座,基座上设置有悬臂;悬臂上开设有观察通槽。在需要芯片倒置分析时,将基座放置在样品台上,通过基座上的悬臂形成有悬空构造。随后将待测芯片放置在悬臂的悬挑部分上,芯片会暴露于悬挑部分上的观察通槽。由此用于对芯片进行扎针观测的显微镜可伸入至悬挑部分的下方的观测空间中,从而为伸入至观测空间内的探针提供关于芯片的扎针视野。与现有技术相比,本发明无需改动微光显微镜的样品台,且基座、悬臂的制造成本较低。
本发明授权一种芯片倒置检测微光显微镜在权利要求书中公布了:1.一种芯片倒置检测微光显微镜,包括微光显微镜本体1,所述微光显微镜本体1包括机仓2以及设置在所述机仓2内的样品台3,所述样品台3的旁侧设置有探针台4,所述探针台4上设置有探针座5,其特征是:所述样品台3上可分离地设置有基座6,所述基座6上设置有悬臂7,所述悬臂7在径向上远离所述样品台3延伸设置; 所述悬臂7包括重叠部分8、悬挑部分9,所述悬挑部分9上开设有观察通槽10,所述悬挑部分9的下方形成有供观测显微镜伸入的观测空间11,所述探针座5的探针伸入所述观测空间11 其中,从所述样品台3的俯视投影方向看去,所述重叠部分8与所述样品台3相重叠,而所述悬挑部分9则从所述样品台3的侧壁上伸出。
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