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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种EBL装片自动装配组件与EBL系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121568548B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610084996.1，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权一种EBL装片自动装配组件与EBL系统是由吴朝阳;李艺杰;徐巍设计研发完成，并于2026-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种EBL装片自动装配组件与EBL系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种EBL装片自动装配组件与EBL系统；其中，EBL装片自动装配组件包括：晶片装片组件、托盘定位组件与掩膜板装载组件；晶片装片组件包括：晶片手爪、晶片载台与晶片调节手爪；托盘定位组件包括：托盘手爪、托盘载台与光镜调节手爪；掩膜板装载组件包括：掩膜板手爪、掩膜板载台与掩膜板调节手爪。本方案中，晶片装片组件能够将晶片装载并固定于晶片载台上；托盘定位组件能够将晶片载台固定于托盘载台上；掩膜板装载组件能够将掩膜板装载于掩膜板载台。在EBL系统作业过程中，上述组件的参与能够减少工作人员的参与程度，并相应提高系统的自动化程度。

本发明授权一种EBL装片自动装配组件与EBL系统在权利要求书中公布了：1.一种EBL装片自动装配组件，其特征在于，包括：晶片装片组件100、托盘定位组件200与掩膜板装载组件300； 所述晶片装片组件100包括：晶片手爪110、晶片载台120与晶片调节手爪130； 所述晶片手爪110用于装载晶片后将所述晶片移动至放置于所述晶片载台120上； 所述晶片调节手爪130用于调节所述晶片载台120上的晶片固定结构，以使所述晶片固定结构固定所述晶片和或调节所述晶片的位置； 所述托盘定位组件200包括：托盘手爪210、托盘载台220与光镜调节手爪230； 所述托盘手爪210用于在所述晶片载台120装载晶片后，将所述晶片载台120转运至所述托盘载台220上； 所述托盘载台220用于将所述晶片载台120固定； 所述光镜调节手爪230用于调节所述托盘载台220上的晶片的放置角度和或高度； 所述掩膜板装载组件300包括：掩膜板手爪310、掩膜板载台320与掩膜板调节手爪330； 所述掩膜板载台320上设置有用于固定掩膜板的掩膜板固定结构； 所述掩膜板调节手爪330用于调节所述掩膜板固定结构，使得所述掩膜板手爪310能够抓取掩膜板后放置于所述掩膜板载台320上，并使得所述掩膜板被所述掩膜板固定结构固定； 所述托盘载台220上设置有第一载台221、驱动件222、第一压件223、第二压件224与连杆225； 所述第一载台221上设置有供所述晶片载台120放置的放置工位； 所述驱动件222设置于所述第一载台221； 所述驱动件222的输出端连接所述第一压件223； 所述第二压件224沿第三方向能够滑动地设置于所述第一载台221； 所述连杆225一端能够转动地连接所述驱动件222的输出端，另一端能够转动地连接所述第二压件224； 所述驱动件222用于带动所述第一压件223沿第二方向移动，同时通过所述连杆225带动所述第二压件224沿所述第三方向移动，使得所述第一压件223和所述第二压件224分别压紧所述晶片载台120沿所述第二方向的侧面和沿所述第三方向的侧面。

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